超聲換能器是一種能將高頻電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能的一種裝置。目前的超聲換能器發(fā)展迅速，基于 MEMS 工藝，采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制作出來(lái)的新型超聲換能器具有體積小、重量輕、功耗低、靈敏度高等特點(diǎn)，應(yīng)用的范圍也更加廣泛。

超聲換能器一般分為壓電式和電容式換能器兩種類(lèi)型。壓電式超聲換能器是通過(guò)材料的壓電效應(yīng)將電信號(hào)轉(zhuǎn)換為機(jī)械能（即超聲波）再傳遞出去；電容式超聲換能器是一種靜電式換能器，它的膜片依靠靜電吸引力推動(dòng)發(fā)聲，產(chǎn)生超聲波。這兩者在研制和應(yīng)用上都具有各自的特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)，發(fā)展迅速。

本文基于壓電材料 PZT 設(shè)計(jì)了一種新型柔性壓電超聲換能器，能夠?qū)㈦娔苻D(zhuǎn)變?yōu)闄C(jī)械振動(dòng)，從而產(chǎn)生超聲波。并對(duì)柔性壓電超聲換能器進(jìn)行了水下超聲發(fā)射實(shí)驗(yàn)。

實(shí)驗(yàn)設(shè)備：示波器（KEYSIGHT-DSOX3054A）、信號(hào)發(fā)生器（AgilentE4432B）、功率放大器（ATA-4011）和高精度水聽(tīng)器（RESON-TC4038）

實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：

通過(guò)步進(jìn)電機(jī)控制實(shí)現(xiàn)測(cè)試夾持平臺(tái)在 X、Y 和 Z 軸的上的位移。信號(hào)發(fā)生器和功率放大器作為激勵(lì)端，給柔性壓電超聲換能器一個(gè)激勵(lì)的正弦信號(hào)。固定位置的水聽(tīng)器用于水下接收柔性壓電超聲換能器發(fā)射出來(lái)的超聲波，并通過(guò)示波器反饋到主機(jī)，進(jìn)行采集數(shù)據(jù)。

本次測(cè)試首先采用頻率為 321.15kHz（通過(guò)阻抗分析儀先前在水中測(cè)得的器件諧振頻率）幅值為 10V 正弦電壓作為柔性壓電超聲換能器工作的激勵(lì)信號(hào)。控制水聽(tīng)器與柔性壓電超聲換能器的距離為 5cm（由于設(shè)備自身裝配的關(guān)系，水聽(tīng)器與待測(cè)器件的最小距離為 5cm），并且保證水聽(tīng)器的接收端對(duì)準(zhǔn)待測(cè)器件的中心位置。測(cè)試的結(jié)果如圖所示，黑色的波形是信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生的波形，藍(lán)色的波形是水聽(tīng)器接收到的波形。從圖中可以看出，水聽(tīng)器接收到的超聲信號(hào)電壓峰峰值為31mV。但是在實(shí)驗(yàn)測(cè)試中，在不改變水聽(tīng)器和柔性壓電超聲換能器的相對(duì)位置和激勵(lì)電壓幅值的情況下，反復(fù)改變正弦激勵(lì)的頻率時(shí)，發(fā)現(xiàn)在頻率為 357kHz 時(shí)，水聽(tīng)器接收到的超聲信號(hào)強(qiáng)度最大。 

為相同距離下頻率為 357kHz 幅值為 10V 的正弦激勵(lì)信號(hào)下水聽(tīng)器接收到的超聲信號(hào)波形。從圖中可以看出，水聽(tīng)器接收到的電壓峰峰值為 64.3mV，大于在頻率 321.15kHz 下測(cè)得的 31mV。