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MTQZ-15-60-高溫晶體生長爐 藍寶石晶體爐
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  • MTQZ-15-60-高溫晶體生長爐 藍寶石晶體爐

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貨物所在地: 上海上海
地: 上海
更新時間: 2025-01-16 21:00:07
期: 2025年1月16日--2025年7月16日
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產品簡介

晶體生長爐 藍寶石晶體爐設備簡介
感應區熔及晶體生長裝置主要包含兩種功能,一種用于材料的熔化提純,一種用于材料的定向凝固。

詳細介紹

  • 設備簡介

感應區熔及晶體生長裝置主要包含兩種功能,一種用于材料的熔化提純,一種用于材料的定向凝固。
二、高溫晶體生長爐 藍寶石晶體爐主要技術參數:
1、*高溫度:1650℃
2、線圈升降行程:150毫米,采用伺服電機驅動,升降速度可調節,分為快速和慢速
3、坩堝升降行程:150毫米,采用伺服電機驅動,升降速度可調節,分為快速和慢速
4、石墨坩堝尺寸:φ40*60㎜
5、感應電源振蕩功率:15KW,電源電壓380V

  1. 采用鎢錸熱偶監測度,通過電流調節溫度
  2. 可抽真空與充保護氣氛
  • 高溫晶體生長爐 藍寶石晶體爐結構簡介

感應區熔及晶體生長裝置主要由感應加熱裝置,坩堝及保溫裝置、密封石英管裝置、區熔裝置、定向凝固裝置、真空裝置、保護氣氛裝置、測溫裝置、支架及操作臺裝置可視化控制系統組成。

  1. 感應加熱裝置:由一臺振蕩功率15kW,振蕩頻率30-80kHZ的高頻電源提供感應加熱
  2. 坩堝及保溫裝置:由一只石墨坩堝,一種石英陶瓷保溫套、氮化硼保溫底座和保溫蓋組成,保證傳輸到石英管的溫度低于800℃;保溫蓋開有觀察孔,可觀察到熔液狀態。
  3. 密封石英管裝置:由一根石英管,兩套密封法蘭組成,采用硅膠密封圈密封,局部帶水冷,密封法蘭上帶各種接口,方便其他裝置接入。
  4. 區熔裝置:由伺服電機、減速機、線性模組和連接塊組成,帶動線圈沿著石英管上下移動,速度可調節,實現區熔目的。
  5. 定向凝固裝置:從石英管底部密封法蘭處引入,帶動密封結構,留有熱偶接口,由步進電機、減速機、線性模組和連接塊帶動坩堝實現上下升降目的,實現定向凝固功能。
  6. 保護氣氛裝置:石英管底部密封法蘭留有充氣接口,帶閥門和進氣接口,石英管頂部密封法蘭留有出氣接口與閥門,并裝有安全閥,防止氣壓過高損壞元件
  7. 測溫裝置:從定向凝固移動管中接入,可直接跟石墨坩堝接觸,測量石墨坩堝溫度,并能根據溫度手動調節高頻電源的輸出功率。
  8. 支架及操作臺裝置:采用型材與板材拼接而成,人性化設計,操作方便,占地空間小。
  9. 可視化控制系統:采用PLC+觸摸屏控制整套系統,實現可視化操作,操作直觀方便。還可實時記錄各種實驗數據并下載到PC端,方便用戶調整工藝數據。

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