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淺析高溫電爐在ITO靶材燒結技術上的優勢

高溫電爐、真空電爐在靶材燒結技術方面發揮了巨大作用，氣氛可調，電爐壓力能夠調，電爐控溫精度等等長處，國內有的公司選用高本錢的熱等靜壓技術，該技術能夠強化壓制和燒結進程，降低燒結溫度，避免晶粒增大，以取得*的物理力學性能，但存在制品出產本錢較高、 出產周期長，且產品很簡單開裂，密度低一級缺陷。

       有的選用氣氛燒結法，在燒結進程中經過對燒結氣氛的控制來取得高密度的ITO靶材。氣氛燒結法能大批量接連出產，本錢較熱壓法低，設備投入也少，但對ITO粉體要求較高，還要有適宜的氣氛燒結技術。

因為需求較高氣氛壓力，在高溫下具有一定的危險性，燒結本錢也較高。常壓燒結是其時日本ITO靶材燒結的干流技術，也是國內目前所竭力的方向，一些公司正在進行這方面的實驗，還沒有公司投入實習出產。

整體來看，目前國內ITO靶材出產通常都選用熱等靜壓或冷等靜壓+氣氛燒結的方法 ，產品質量不高，未打破下游行業r FT—LCD的要求方針，產品只限于出產低端的 T N導電玻璃和有些STN產品。