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D07-9EM 氣體質量流量計技術參數：
| 產品型號 | D07-9EM |
| 產品類型 | 普通型 |
| 流量量程 | 20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm |
| 產品精度 | ±2％F.S. |
| 重復精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±1％F.S. |
| 響應時間 | ≤4sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
| 輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
| 電源 | ±15V |
| 閥類型 | 無閥 |
| 溫度系數 | - 無 - |
| 零點飄移指標 | - 無 - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Male |
| 工作壓差范圍 | ≤0.02 MPa（20slm ≤F.S.≤100slm）,≤0.05 MPa（100slm ≤F.S.） |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 標準接頭形式 | VCR1/2”,雙卡套1/2”,雙卡套1/4”(滿量程≤60slm),雙卡套Φ12,雙卡套Φ6(滿量程≤60slm),雙卡套Φ8(滿量程≤200slm),雙卡套Φ10,雙卡套3/8” |
| 表面化學成分 | - 無 - |
| 表面粗糙度 | - 無 - |
| 抗電磁干擾 | - 無 - |
| 重量 | 1.5Kg |
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