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ES612 ESD 測(cè)試儀 （HBM, HMM, MM）
ES612 ESD測(cè)試儀是2管腳測(cè)試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)ESD測(cè)試而設(shè)計(jì)。該測(cè)試儀的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)試儀上的DC特性測(cè)試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測(cè)試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測(cè)試儀可搭配多管腳自動(dòng)化測(cè)試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。
產(chǎn)品分類(lèi)品牌分類(lèi)
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分析儀 低電平靈敏專(zhuān)用儀器 LoRa測(cè)試儀 端口遠(yuǎn)程采樣探頭前端 電源自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng) 電時(shí)鐘恢復(fù) 功率表 交直流電源電子負(fù)載 直流電子負(fù)載 數(shù)字電壓表 函數(shù)/任意波形發(fā)生器 數(shù)字功率計(jì) FC掃描儀 阻抗測(cè)試儀 閃變分析儀 電容測(cè)試儀 電池測(cè)試儀 泄漏電流測(cè)試儀 地線導(dǎo)通測(cè)試儀 絕緣電阻計(jì) 耐壓測(cè)試儀 絕緣電阻測(cè)試儀 電子負(fù)載裝置 塔式無(wú)源互調(diào)分析儀 超高電阻計(jì) 雙通道數(shù)字萬(wàn)用表 驅(qū)動(dòng)器步行測(cè)試掃描儀 變頻器測(cè)試軟件 開(kāi)放式開(kāi)關(guān)和控制平臺(tái) CMW配件 屏蔽射頻測(cè)試盒。 射頻屏蔽盒 射頻暗室 天線測(cè)試系統(tǒng) 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀 手持頻譜分析儀 序列發(fā)生器軟件工具 便攜式無(wú)線電測(cè)試儀 無(wú)線電測(cè)試裝置 無(wú)線連接測(cè)試儀 通信制造測(cè)試儀 平臺(tái) 數(shù)字萬(wàn)用表 手持式光功率計(jì) 步進(jìn)衰減器 數(shù)據(jù)記錄器 電源系列 寬帶放大器 音頻/視頻/廣播音序器 數(shù)字視頻信號(hào)源 視頻測(cè)試儀 廣播電視路測(cè)軟件 自動(dòng)電視頻道掃描軟件 手持式電視分析儀 數(shù)字電視監(jiān)控系統(tǒng)系列 有線電視分析儀和泄漏檢測(cè)儀 小型電視分析儀 高級(jí)流合成器 衛(wèi)星負(fù)載發(fā)生器 電纜負(fù)載發(fā)生器 緊湊型調(diào)制器 測(cè)試發(fā)射機(jī) 廣播電視測(cè)試系統(tǒng) 信號(hào)分析儀 信息娛樂(lè)測(cè)試系統(tǒng) 測(cè)試系統(tǒng)多功能平臺(tái) 音頻切換器 音頻分析儀 功率反射儀 空中傳輸 功率測(cè)量 頻率選擇功率傳感器 三通道二極管功率探頭 測(cè)試接收機(jī) 毫米波變換器 網(wǎng)絡(luò)分析儀 信號(hào)發(fā)生器 信號(hào)與頻譜分析儀 測(cè)量接收機(jī) 相位噪聲分析儀 FSW 信號(hào)與頻譜分析儀 USB協(xié)議分析儀 藍(lán)牙協(xié)議分析儀 Bluetooth 示波器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
ES612 ESD 測(cè)試儀 (HBM, HMM, MM)
ES612 ESD測(cè)試儀是一款2管腳測(cè)試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)ESD測(cè)試而設(shè)計(jì)。該測(cè)試儀的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)試儀上的DC特性測(cè)試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測(cè)試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測(cè)試儀可搭配多管腳自動(dòng)化測(cè)試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。
ES612 ESD測(cè)試儀的脈沖源設(shè)計(jì)和注入方法能夠確保被測(cè)器件端的波形表現(xiàn)。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動(dòng)抓取脈沖注入時(shí)的波形，為數(shù)據(jù)分析提供可靠依據(jù)。此外，電壓波形也可通過(guò)選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測(cè)，因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。
特點(diǎn)
低寄生參數(shù)，高質(zhì)量脈沖
可定制，可擴(kuò)展
可搭配探針臺(tái)進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試
外置可選配的自動(dòng)故障檢測(cè)模塊
觸摸控制面板
可固件升級(jí)
可選配的自動(dòng)化脈沖注入和故障測(cè)量軟件
可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
ES612 ESD測(cè)試儀是一款2管腳測(cè)試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)ESD測(cè)試而設(shè)計(jì)。該測(cè)試儀的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)試儀上的DC特性測(cè)試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測(cè)試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測(cè)試儀可搭配多管腳自動(dòng)化測(cè)試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。
ES612 ESD測(cè)試儀的脈沖源設(shè)計(jì)和注入方法能夠確保被測(cè)器件端的波形表現(xiàn)。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動(dòng)抓取脈沖注入時(shí)的波形，為數(shù)據(jù)分析提供可靠依據(jù)。此外，電壓波形也可通過(guò)選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測(cè)，因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。
低寄生參數(shù)，具有高質(zhì)量脈沖
可定制，可擴(kuò)展
可搭配探針臺(tái)進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試
外置可選配的自動(dòng)故障檢測(cè)模塊
觸摸控制面板
可固件升級(jí)
可選配的自動(dòng)化脈沖注入和故障測(cè)量軟件
可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
用于晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)器件的通用ESD測(cè)試
HBM模塊符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014
HMM模塊符合ANSI / ESD SP5.6-2009
MM模塊符合ANSI / ESD STM5.2-2012
ES612 控制主機(jī)
參數(shù) ES612-2K ES612-8K ES612-12K ES612-20K 單位 輸出電壓 ± 10 ~ 2000 ± 10 ~ 8000 ± 10 ~ 12000 ± 10 ~ 20000 V 小輸出電壓步長(zhǎng) 1V (500V以內(nèi)) 10V (2 kV以內(nèi))
1V (500V以內(nèi)) 10V (8 kV以內(nèi))
1V (500V以內(nèi)) 10V (12 kV以內(nèi))
1V (500V以內(nèi)) 10V (20 kV以內(nèi))
V, kV
輸出電壓精度 ± 1 % 或 ± 5 V % 尺寸 347 X 300 X 145 mm 重量 5 6 6 7 kg 電壓、電流測(cè)量 電壓、電流測(cè)量無(wú)源探頭 支持的示波器 Keysight， Tektronix，Lecory主流型號(hào)示波器 支持的SMU Keithley 24xx/26xx 系列 外置人體模型（HBM ）波形發(fā)生模塊
參數(shù) HBM-2K HBM -8K HBM -12K HBM -20K 單位 輸出電壓 ± 10 ~ 2000 ± 10 ~ 8000 ± 10 ~ 12000 ± 10 ~ 20000 V 放電RC值 C: 100 pF ± 10%, R: 1.5k? ± 1% 短路峰值電流Ips 0.67A ± 10 % per kV ns 短負(fù)荷上升時(shí)間Trs 2 < Trs < 10 ns 短負(fù)荷衰減時(shí)間Tds 1300 < Tds < 1700 ns 短負(fù)荷振鈴Irs < 15% of Ips 500Ω負(fù)載峰值電流Ipr Ipr/Ips ≥ 63% 500Ω負(fù)載上升時(shí)間Trr 5 < Trr < 25 ns 外置人體-金屬模型（HMM ）波形發(fā)生模塊
(根據(jù)ANSI/ESD SP5.6-2009)
參數(shù) HMM-24K 單位 備注 HMM峰值電流 90 A 3.75 A per 1 kV ≤ ± 10 % IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)
HMM電流@ 30 ns 48 A ≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30% ) HMM電流@ 60 ns 24 A ≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30% )
編號(hào) 型號(hào) 描述 ES612 ESD測(cè)試儀 1.1 ES612 ES612 ESD 測(cè)試儀控制主機(jī), 大輸出電壓 8 kV / 20 kV, RS232 SCPI 通訊端口
1.2 ES612-HBM 人體模型波形發(fā)生模塊（2管腳） 1.3 ES612-HMM 人體-金屬模型波形發(fā)生模塊（2管腳） 1.4 ES612-MM 機(jī)器模型波形發(fā)生模塊（2管腳） 其他配件選項(xiàng) 2.1 ES62x-PC-HBM 電腦（預(yù)裝脈沖及失效等級(jí)自動(dòng)檢測(cè)軟件） 2.2 KSMU2400 數(shù)字源表, 200V, 1A, 20W, 單通道(用于被測(cè)器件DC損傷檢測(cè)） 2.3 ES62X-CMPS 簡(jiǎn)易手動(dòng)探針臺(tái) 2.4 ES62X-XYZM-TIM XYZ 微動(dòng)探針座 – XYZ 行程500 mils，步進(jìn)0.01mm 2.5 ES62X-XYZM-PAA PCB 探針臂套件，配備電壓測(cè)量探頭 2.6 ES62X-XYZM-GAA 接地探針臂套件 2.7 HBM-TC0.3 0.3 mm Pitch Test Clip 2.8 HBM-TC2.5 2.54 mm Pitch Test Clip 2.9 ES62X-XYZM-PP048 048 型號(hào)彈簧探針 2.10 ES62X-XYZM-PP075 075 型號(hào)彈簧探針 2.11 ES62X-XYZM-TN1 鎢鋼針