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大平臺顯微鏡奧林巴斯OLYMPUS MX61L
半導體/FPD檢查顯微鏡MX61L，透反射照明型顯微鏡是OLYMPUS MX61型號的升級版本，L即為長工作距離，適用大300mm的樣本，大平臺的顯微鏡。
能對應300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用）
應對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調節連動的亮度光圈等，實現了舒適的檢查環境。
產品簡介
詳細介紹
大平臺顯微鏡奧林巴斯OLYMPUS MX61L
OLYMPUS MX61/61L 產品特點縮短檢查用時，提高檢查效率自動聚焦附件 MX-AF透射光檢查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX的自動聚焦附件可配合所有的反射光照明觀察方式，甚至包括暗視場和微分干涉相襯觀察。實現快速和精確的自動對焦，甚至觀察方式轉換時也能實時準確的找到焦面。兩種照明裝置可選，通用型及高數值孔徑型。為FPD，MASK板檢查提供合適的照明，并且可配備起偏鏡，實現投射光簡易偏光觀察。高反差，更高分辨率，更高倍率檢查用于光刻膠殘留檢查的熒光觀察方式共聚焦附件 U-CFU熒光分光鏡模塊共聚焦光學系統可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可達0.18μm,并可對多層線條的器件分層對焦，獲得高分辨率，高反差的共焦圖像。
備有U.B.G等多種熒光方式可選，用于光顆膠殘留以及OLED檢查。方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數獲得 RS232C用于晶圓以及器件，甚至焊腳的內部檢查 近紅外線觀察附件MX61/MX61L標配包括一個RS232C接口，使得用PC控制顯微鏡電動部分成為可能，并且可以實現使工藝線上的幾臺顯微鏡都在同樣的設定狀態下工作。包括專門的紅外物鏡等附件，對從可見光到近紅外波段光線的像差做矯正，用于IC深層或內部檢查，可實現對WAFER BUMP的全面檢查。
