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二手日立電鏡，二手SEM；顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí)，也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動(dòng) （聲子）、電子振蕩 （等離子體）。

二手日立電鏡，二手SEM；相關(guān)參數(shù)：

項(xiàng)目	描述
SE分辨率	3.0nm (30kV)，高真空模式  / 10nm (3kV), 高真空模式
BSE分辨率	4.0nm (30kV)，低真空模式
放大倍率	x5 ~ x300,000
加速電壓	0.3 ~ 30 kV
低真空范圍	6 ~ 270 Pa
大樣品尺寸	直徑200mm
樣品臺(tái)	I型                                     II型
X	0 ~ 80mm                          0 ~ 100mm
Y	0 ~ 40mm                          0 ~ 50mm
Z	5 ~ 35mm                          5 ~ 65mm
R	360o                                  360o
T	-20o~ +90o                        -20o ~ +90o
T	-20o~ +90o                        -20o ~ +90o
大樣品高度	35mm (WD=10mm)           80mm (WD=10mm)
驅(qū)動(dòng)類型	手動(dòng)                                  五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
燈絲	預(yù)對中鎢燈絲
物鏡光欄	可移動(dòng)式4孔物鏡光欄
槍偏壓	固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏
檢測器	二次電子檢測器 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器
分析位置	WD=10mm, TOA=35o
控制	鼠標(biāo)、鍵盤，手動(dòng)旋鈕
自動(dòng)調(diào)校	自動(dòng)燈絲飽和、自動(dòng)4偏壓、自動(dòng)槍對中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦  消像散、自動(dòng)亮度對比度

 

詳細(xì)說明

1. S-3400N具有強(qiáng)大的自動(dòng)功能，包括自動(dòng)燈絲飽和、4偏壓、自動(dòng)槍對中、自動(dòng)束流設(shè)定、
   自動(dòng)合軸自動(dòng)聚焦和消像散、自動(dòng)亮度對比度等。
2. 在3kV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺(tái)，傾斜角度可達(dá)-20度~+90度，樣品可達(dá)80mm。
5. 分析樣品倉可以同時(shí)安裝EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效

 二手日立電鏡，二手SEM；電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析通則”國家標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定了EDS的定量分析的允許誤差(不包括含超輕元素的試樣)。對平坦的無水、致密、穩(wěn)定和導(dǎo)電良好的試樣，定量分析總量誤差小于±3%。

另外，EDS分析的相對誤差也有相應(yīng)的規(guī)定:

a) 主元素(>20%wt)允許的相對誤差≤±5%。

b) ±3%wt ≤含量≤ 20%wt的元素，允許的相對誤差≤ 10%。

c) ±1%wt≤含量≤ 3%wt的元素，允許的相對誤差≤ 30%。

d) ±0.5%wt≤含量≤ 1%wt的元素，允許的相對誤差≤ 50%。