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產(chǎn)品簡介
日本電子-IT200A掃描電鏡經(jīng)過改進照射系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和信號處理系統(tǒng)，不僅能觀察高質(zhì)量的圖像，還能利用觸控屏和快速樣品臺進行高通量的直觀操作。
詳細介紹
日本電子-IT200A掃描電鏡
主要特長
優(yōu)秀電子光學(xué)系統(tǒng)
日本電子-IT200A掃描電鏡是日本電子株式會社升級版機型，集合了分析掃描電鏡精髓功能，結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié) 省空間，分辨率高。
操作舒適快捷
擁有非常直觀的操作系統(tǒng)，即使沒有經(jīng)驗的用戶也可進行操作高品質(zhì)的SEM圖像，以及高效率元素分析。可支持操作觸摸屏。
安裝的靈活性 節(jié)省空間，安裝方便。一個電源插座就足以安裝。不需要任何冷卻水。
JSM-IT200A性能參數(shù)
Main Performance on JSM-IT200A
Performance (一) 主要性能 |
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SEI Mode Resolution 二次電子圖像分辨率 | 3.0nm @ 30KV WD 8mm 8.0nm @ 3KV WD 6mm 15.0nm @ 1KV WD 6mm |
BEI Mode Resolution 背散射電子模式分辨率 | 4.0nm@30KV |
Magnification 放大倍數(shù) | ×5~×300,000（底片倍率） ×14~×839,724（顯示器倍率） |
Detectors 探測器 | Secondary Electron Detector 二次電子探測器 ★Semiconductor Backscattered Electron Detector(patent) 半導(dǎo)體型背散射電子探測器(技術(shù)) |
Image Mode 圖像模式 | Secondary Electron Image 二次電子圖像 REF Image REF像 Composition Image (Backscattered Electron Image) 成份像 (背散射電子圖像) Topography Image (Backscattered Electron Image) 形貌像 (背散射電子圖像) Shadow Image (Backscattered Electron Image) 立體像 (背散射電子圖像) |
Live Image Display 實時圖像顯示 | Dual Live Image Display, Split Live Image, 雙實時圖像同時顯示, 分割實時圖像顯示 |
Accelerating Voltage 加速電壓 | 0.5KV ~ 30KV |
Probe Current 探針束流 | 1pA ~ 0.3uA |
Electron Optics (二) 電子光學(xué)系統(tǒng) |
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Filament 燈絲 | Factory pre-centered tungsten hairpin filament 工廠預(yù)對中鎢燈絲 |
★Gun Bias Voltage 電子槍偏壓 | Seamless automatic bias 無縫式自給偏壓, 連續(xù)調(diào)整 |
Gun Alignment 電子槍合軸 | Auto alignment 自動合軸 |
Filament Heating 燈絲加熱 | Auto heating 自動加熱 |
★Condenser Lens 聚光透鏡 | Two stage zoom type condenser lens – (patent) 變焦聚光透鏡系統(tǒng) – 技術(shù) |
★Objective Lens 物鏡 | Super conical type objective lens 超級錐形物鏡 |
Objective Lens Aperture 物鏡光闌 | 1 step, Fine position adjustment in X and Y directions 1孔固定，可在X和Y方向微調(diào) |
Focus 聚焦 | Auto/Manual focus 自動/手動聚焦 |
Stigmator 像散 | Auto/Manual stigmator 自動/手動消像散 |
★Stigmator Memory 像散存儲器 | Standard, Auto/Manual 標(biāo)準(zhǔn)配置，自動/手動補償像散 |
★Electrical Image Shift 圖像移動 | X-Y , ±50um |
Specimen Stage (三) 樣品臺 |
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Type 樣品臺類型 | Eucentric type stage 全對中樣品臺 |
Traverse 行程
| X : 80mm; Y : 40mm; Z : 5 ~ 48mm; 傾斜 T: -10 ~ +90° 旋轉(zhuǎn) R: 360°連續(xù)endless |
Maximum Specimen Size zui大樣品尺寸 | 150mm diameter & 48mm height specimen can be inserted 可裝直徑150mm高度為48mm的樣品 |
Maximum Size of Observation zui大觀察視野 | 127mm diameter 直徑127mm |
Image Display (四) 圖形顯示 |
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Pixels 顯示像素 | 640×480,1280×960,2560×1920,5120×3840 |
Image Process 圖像處理 | Averaging, Linear, Contrast, Gamma, Multi level, Patial enhance, Reverse, Pseudo color, Multi image 平均值, 灰度修正, 反差增強, 偽彩, 二及四分屏, 2及4倍數(shù)碼變焦 |
File Save 文件存儲格式 | BMP, TIFF, JPEG |
Operation System (五) 操作系統(tǒng) |
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PC 計算機 | OS : Windows 10 (英語版) 觸摸屏式臺式電腦 |
Metrological function (六) 測量功能 |
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Distance between parallel lines 平行線間距測量 | Horizontal, vertical, diagonal 垂直, 水平, 對角 |
Distance between 2 points 2點之間距離測量 | Distance between any 2 points 任意2點間距離 |
Circle 圓的測量 | Diameter 直徑 Distance between 2 circle centers (not supported by the touch-panel operation) 2個圓中心間距離(觸摸屏操作下不支持此功能) |
Angle 角度測量 | Angle 角度 |
Area 面積測量 | Area of circles and polygons 圓和多角形 |
Count 計數(shù) | Particle count 顆粒計數(shù) |
Vacuum System (七) 真空系統(tǒng) |
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Ultimate Pressure 真空度 | HV mode 0.1mPa 高真空模式 1×10-4Pa |
Evacuation Time 抽真空時間 | 3 min
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Pump System 真空泵系統(tǒng) | One TMP, One RP 一個分子泵, 一個機械泵 |
Safety devices (七) 安全裝置 | Power failure, Water failure, Pressure rise, Leak current 斷電,斷水,泄壓,漏電保護 |
Auto Function (八) 自動功能 | Auto gun control, Auto focus, Auto stigmator, Auto contrast and brightness 自動電子槍控制,自動聚焦,自動消像散,自動反差和亮度 |
Miscellaneous (九) 擴展接口 | EDS 能譜儀、Chamber Scope紅外相機、Probe Current Detector束流監(jiān)視器 |
EDS Performance: (十)能譜儀主要性能 |
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Detector 探測器 | Box SDD detector (no liquid nitrogen needed) 電制冷方式Box SDD 探測器 – 不用液氮 |
Effective area of detector 探頭有效掃描面積 | 25 mm2 |
Detector movement 探測器移動 | Fixed 固定 |
Resolution 分辨率 | 130eV or less (ICR 5,000 cps or less) |
Detectable element range 元素分析范圍 | Be(4) to U(92) 鈹 至 鈾 |
Window 窗口 | Atmospheric pressure-resistant, Ultra-thin film 抗大氣壓的超薄窗 |
X-ray take-off angle 取出角 | 35°（WD：10mm） |
Cooling 制冷方法 | Peltier cooling |
Standard Function Built in 標(biāo)準(zhǔn)搭載功能 | Qualitative Analysis 定性分析 Quantitative Analysis 定量分析 Active Mapping 活區(qū)面分析 Point Analysis 點分析 Probe Tracking 束流追蹤 |