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產品介紹：
名 稱：可編程精密勻膠機HC220PE
型 號：HC220PE
應 用：HC220可編程旋涂儀/勻膠機，采用高精度工業伺服電機，配置8英寸人機界面，清晰的編程程序界面設置，易學易用。適合半導體行業及科研院所，實驗室級的研究開發。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂，是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。
產品概述：
HC220可編程旋涂儀/勻膠機，采用高級PLC 模塊，工業級伺服電機，全自動程序控制，轉速精度高，穩定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。
設備采用工業級別200瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中最大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和可重復性。
性能參數：
l 旋涂程序：采用與track設備類似的程序與設計，最多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒；
l 電機速度：0-10,000rpm；
l 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）；
l 馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm；
l 轉速調節精度<1rpm；
l 重復性< 1rpm；
l 工藝時間設定： 0-3,000 sec/step；
l 時間設置精度：0.1sec；
l 支持wafer尺寸1cm-200mm（8"圓晶）；
l 旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）；
產品特點：
l 用高級PLC模塊，工業級伺服電機；
l 8英寸彩色觸屏控制，人機界面；
l HDPE高分子內腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；
l內腔壁采用凹面設計，有效防濺；
l可編程寫和存儲100組程序，每組100步；
l帶真空度安全互鎖檢測功能；
l帶蓋子安全互鎖檢測功能；
l帶排廢接口；
l具有電機進膠保護功能；
l管路易疏通設計；
l具有真空不足提示及保護功能，具有斷電后參數自動保存功能；
l正、反轉旋涂方向可自由切換；
l旋涂參數可設置循環執行；
l速度-時間曲線實時顯示；
l配置四個自動點膠接口，可升級多路自動點膠系統；
l可設置用戶密碼保護功能；
l配置可調基座，方便調節水平；
不同尺寸的載物盤
產品外型尺寸：
444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)
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