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產(chǎn)品介紹：

名   稱：高精密勻膠機(jī)

型   號(hào)：SC100-SR

原產(chǎn)地：

應(yīng)    用：SC100-SR精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

產(chǎn)品概述：

SC100-SR精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
　　SC100-SR是一種主機(jī)和觸摸屏分開的分體式勻膠機(jī)，主機(jī)被設(shè)計(jì)為更小安裝尺寸或臺(tái)面嵌入式安裝來(lái)降低操作高度。SC100-SR可與手套箱配套進(jìn)行嵌入式安裝，控制盒放置在臺(tái)面上方便移動(dòng)。

性能參數(shù)：

l  主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔） 

l  旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可到0.1秒 

l  轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm（更高速可選） 

l  旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載） 

l  馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm 

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm

l  重復(fù)性< 1rpm 

l  工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step

l  時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec 

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶） 

l  旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量）

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l  新的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。

l  可進(jìn)行嵌入式安裝，降低操作高度。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。 

l  Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。 

l  標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

l  采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。 

l  機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，不會(huì)生銹，便于清洗。 

l  透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品外型尺寸：
       306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H)

咨詢或索取詳細(xì)產(chǎn)品資料，請(qǐng)聯(lián)系ANALYSIS（安賽斯）工作人員。

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