RTS-4A型全自動掃描四探針測試系統
關鍵詞：全自動四探針，2D,3D，多點掃描, 電阻率, 方塊電阻
可對樣品進行 49 點、81 點、中心 1 點、中心 10 點、中心半徑 5 點、中心邊緣 5 點、中心半徑邊緣 9 點、直徑掃描等測試；統計分析測試數據生成 2D 和 3D 的 map 圖； 屏蔽測試，消除光對樣品測試的影響，保證測量的準確性；真空吸附防止全自動測試過程中樣品移動對測試的影響；
一體化嵌入式設計，觸控電腦屏幕操作，手指點點就可以完成操作
PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設備。該設備按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用設備。通過全自動測試系統，對晶圓片進行電阻率和方塊電阻分布的測量，繪制出等值線圖后，從而直接觀察到整個晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。
PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統通過采用四探針雙位組合測量技術，將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換，進行兩次電測量，其最后計算結果能自動消除由樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素所引起的，對測量結果的不利影響。因而在測試過程中，在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動態地對以上不利因素的自動修正，顯著降低了其對測試結果的影響，從而提高了測量結果的準確度。
PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統擁有友好操作測試界面，通過此測試程序輔助用戶簡便地進行各項測試操作，把采集到的測試數據進行數學分析，然后把測試數據以Excel表格，2D、3D等數值圖直觀地記錄、顯示出來。方便用戶對數據進行各種數據分析，用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，
產品應用
● 半導體及太陽能電池(單晶硅、多晶硅、鈣鈦礦)
● 液晶面板(ITO/AZO)
● 功能材料(熱電材料、碳納米管、石墨烯、銀納米線、導電纖維布)
● 半導體工藝(金屬層/離子注入/擴散層)、非晶合金
主要技術指標 ：
測量范圍 | 電阻率：10-5～105 ?.cm； 方塊電阻：10-4～106 ?/□； |
可測晶片尺寸 | 2 英寸～15 英寸；（太陽能電池片≤210mm*210mm） |
恒流源 | 電流量程分為 1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA 六檔。 |
采樣電壓范圍 | 量程：000.00～199.99mV；（低阻擴展時，量程：00.000～19.999mV） 分辨力：10μV；（低阻擴展時，分辨力：1μV）輸入阻抗：＞1000MΩ；精度：±0.1%； |
四探針探頭基本指標 | 間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000M?； 機械游移率：≤0.3％； 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
模擬電阻測量相對 | 0.01?、0.1?、1?、10?、100?、1000?、10000?≤0.2％ |
整機測量最大相對 | （用硅標樣片:0.003-500Ω.cm 測試）≤±3%（23℃） |
重復性 | ≤±0.5% |
最小去邊距離 | 3mm |
自動測試選點方式 | 49 點、81 點、中心 1 點、中心 10 點、中心半徑 5 點、中心邊緣 5 點、中心半徑邊緣 9 點、直徑掃描。 |
測試數據處理 | 以Excel格式文件表格記錄測試數據，并生成2D、3D的 map 圖。用戶可對采集的數據在 Excel 中進行進一步的各種數據統計分析。 |
屏蔽和吸附測試 | 對樣品進行屏蔽和真空吸附測試，消除光和全自動測試過程中樣品移動對樣品測試的影響，保證測量的準確性。 |
外形尺寸 | 550mm×455mm×400mm（深×寬×高） |
標準使用環境 | 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65％；無高頻干擾； |
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