① 背景噪音低：干涉儀抗震動(dòng)干擾優(yōu)于AFM反射光路 ② 制樣更簡(jiǎn)單：對(duì)樣品的粗糙度要求大大小于AFM ③ 剛度選擇更準(zhǔn)確：平行懸臂梁結(jié)構(gòu)有利于準(zhǔn)確判別壓痕深度與壓電陶瓷位移比例關(guān)系，有助于選擇合適剛度探頭來(lái)保證彈性形變關(guān)系的穩(wěn)定性，進(jìn)而獲得重復(fù)率更高、準(zhǔn)確性更好的數(shù)據(jù)。
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力曲線數(shù)據(jù)
楊氏模量點(diǎn)陣
另有生物型納米壓痕儀Piuma Chiaro配合各類倒置顯微鏡
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