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上海屹持光電技術有限公司專業提供各種微納結構加工服務
典型案例：
FIB加工微納結構 紫外光刻微納結構
單晶硅反應離子刻蝕圖片
ICP 刻蝕微納結構
納米壓印點線圖
微流控細胞打印
EBL 刻寫微納陣列
FIB 用于器件電極沉積
激光直寫圖案
激光直寫器件
微納結構加工主要設備
1，電子束曝光系統；
2，聚焦離子束/ 掃描電子顯微鏡雙束系統；
3，雙面對準接觸式紫外光刻機；
4， 單面對準紫外光刻機；
5，金屬高密度等離子體刻蝕機；
6，硅刻蝕高密度等離子體刻蝕機；
7，反應等離子體刻蝕機；
8，納米壓印機。
上海屹持光電技術有限公司
地址：上海市閔行區元江路3599號福克斯創新園3號樓302
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