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BX53M孔隙率分析金相顯微鏡
BX53M孔隙率分析金相顯微鏡
BX53M孔隙率分析金相顯微鏡
BX3M系列采用了模塊化設計，為廣泛的材料學和工業應用提供了多樣化的解決方案。BX3M增強了與Stream軟件的集成性，從而為常規顯微鏡檢查和數碼成像用戶提供了從觀察到報告創建的無縫工作流程。
照明器的設計大程度減少了顯微鏡操作過程中所必須的復雜操作。 照明器前端的旋鈕使用戶能夠輕松地改變觀察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時快速切換*常用的觀察方法，比如從明場觀察到暗場觀察，到偏光觀察，以隨時改變不同類型的分析。此外，可以旋轉檢偏鏡來實現簡單偏光觀察的調節。
操作者能夠在經常使用的觀察方法之間快速切換（AlSi的拋光態樣品）
使用正確的孔徑光闌和視場光闌設置能夠獲得良好的圖像對比度，還可以充分利用物鏡的數值孔徑。指示標志可引導用戶根據觀察方法和所用物鏡進行正確的設置。
機架上的對焦刻度標尺可以讓操作者快速鎖定焦點。操作者不用通過目鏡查看樣品就可以大致地對準焦點，從而在檢查具有不同高度的樣品時節省了時間。
在初始設定時，可以調節照明強度，使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉換器的特定硬件配置匹配。
傳統的光強
傳統顯微鏡中，提高了放大倍率，以及使用需要更多光線的觀察方法后，圖像會變得更暗。
智能光強管理
改變放大倍率或觀察方法時，顯微鏡自動調節光強到正確值。
人性化設計對所有用戶都至關重要。無論是單機顯微鏡用戶，還是集成了Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統用戶，都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的人性化操作設計的手動控制器。簡單的手動開關讓用戶能夠專注于樣品和檢查工作本身。
用于旋轉電動物鏡轉換器的手動開關
手動控制器
曝光按鈕
BX3M采用了新的編碼功能，將顯微鏡的硬件設置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀察方法、照明強度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動控制器里。編碼功能可實現顯微鏡設置與每幅圖像一起自動保存，從而可輕松完成此后的還原設置，以及為報表提供文檔記錄。既節省了操作者的時間，又*大程度地減小了使用不正確設置的概率。當前的觀察設置總是清晰地顯示在手動控制器和軟件上。
| 操作步驟 | 操作者A | 操作者B |
| 不同的操作者使用不同的設置 | ||
| 易于驗證正確的設置 | ||
| 使觀察設置保持同步 | ||
| 盡管操作者不同，但設置相同 | ||
BX3M的MIX觀察技術組合了明場和暗場照明方法。MIX照明滑塊中的LED光源，以定向暗場光線照射樣品。這種方式類似于傳統暗場照明，但又可為LED的不同角度光線照射提供四分象限選擇功能。這種定向暗場與明場、熒光、或偏光的組合稱為MIX照明，有助于突出顯示缺陷和區分隆起與凹陷表面。
明場將光線直接照射在樣品上，暗場則使光線沿物鏡的周圍從側面照射樣品，突出顯示了劃痕和缺陷。
MIX觀察是通過一個環形LED光源來形成明場、熒光或偏光與定向暗場的組合。可以調節LED光源，選擇從哪個方向進行照明。該方法可在傳統方法無法觀察的表面上獲得的對比度并可突出表面特征。
現在不需要電動載物臺，僅僅移動手動載物臺上XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像。奧林巴斯Stream軟件采用圖案識別技術來生成全景圖像，為用戶提供了比單一畫面更廣闊的視野。
一枚硬幣的即時MIA圖像。
Stream軟件的景深擴展成像（EFI）功能能夠獲取高度超過物鏡焦深的樣品圖像，把通過不同焦面的圖像疊加在一起，創建出一幅超景深圖像。可以使用手動或電動Z軸機構來執行EFI，并可創建一幅高度圖，以輕松地識別樣品結構。也可以用Stream桌面版在離線時創建EFI圖像。
高動態范圍（HDR）使用了先進的圖像處理技術，能夠針對一幅圖像內的亮度差異進行調節，從而減少了眩光。HDR改善了數字圖像的視覺效果，從而為用戶制作報告時提供*的圖像。
借助HDR功能，同時清晰呈現出高光和暗調區域的細節
（樣品：燃油噴射器）
借助HDR功能，增強了對比度
（樣品：鎂切片）
反射光顯微鏡應用于各行各業。以下僅為一些通過不同觀察方法獲得的效果示例，如 明場(BF)、 暗場(DF)、微分干涉差(DIC)、偏光(PL)、熒光(FL)、紅外(IR)、和透射光(TL)。
DF(示例: 表面貼裝基板）
DIC(示例:球墨鑄鐵腐蝕檢測）
PL(示例: 絹云母)
FL(示例: 半導體晶圓上的顆粒異物)
IR(示例:電極切片)
TL(示例: LCD彩色濾光片)
通過Stream軟件可以實現多種測量功能，從而使用戶可以很輕松地從圖像中獲取有用的數據。在質量控制和檢查時常常需要對圖像進行測量。所有級別的Stream 授權軟件都包括了交互式的測量功能，比如距離、角度、矩形、圓、橢圓和多邊形。所有測量結果都與圖像文件一起保存，用于今后的文件檢索。
目標探測和尺寸分布測量，是數碼圖像中重要的應用。Stream軟件使用閾值分割方法進行目標探測，能夠可靠地從背景中分離目標（比如顆粒、劃痕）。
使用外部電動對焦機構時，可以快速獲取EFI圖像，并以3D視圖顯示。獲取的高度數據可用于剖面上的3D測量，或通過單視圖進行3D測量。
3D表面視圖（粗糙度試驗樣品）
單視圖和3D剖面測量
新型150×100mm載物臺在X方向上提供了比以前的型號更大的行程。再加上其載物臺板的平板式設計，可以輕松地將大樣品，或多個樣品放置在載物臺上。載物臺板上開有小孔，可用于固定樣品架。更大的載物臺為用戶提供了靈活性，使他們能夠在一臺顯微鏡上檢查更多的樣品，從而節省了寶貴的實驗室空間。可調節扭力的載物臺方便了高倍下窄視野的微調定位。
BX53MRF-S
使用選配的模塊組件可以將高105mm的樣品放置在載物臺 上。由于改進了調焦機構，因此顯微鏡可以容納*重6kg的總重量（樣品+載物臺）。這就意味著BX3M可以檢查更大、更重的樣品，從而減少了實驗室內所需的顯微鏡數量。通過戰略性地將用于6英寸晶圓的旋轉托架放置在偏離中心的位置，在100mm行程范圍內移動時，用戶僅旋轉晶圓托架即可觀察整個晶圓表面。優化了載物臺的扭力調節，以便于使用，舒適的手柄使用戶更易于找到樣品的感興趣區域。
BXFM
如果樣品太大，難以放置在常規顯微鏡載物臺上，則可以把用于反射光顯微鏡觀察的核心光學部件組裝到一個模塊化的系統里。這種模塊化系統，就是BXFM，它可以通過一個支撐桿安裝在更大的支架上，或使用安裝托架安裝在另一臺儀器上。這就使用戶能夠充分利用優異的光學元件的優勢，即使其樣品在尺寸或形狀上都很*。
BX3M具有ESD靜電消除能力，防止電子裝置受到由人為或環境因素而導致的靜電的影響。
| 入門 | 標準 | 高級 | |||||||
| 光學系統 | UIS2光學系統(無限遠校正系統) | ||||||||
| 主機 | 顯微鏡鏡架 | BX53MRF-S （反射） | BX53MTRF-S （反射/透射） | BX53MRF-S （反射） | BX53MTRF-S （反射/透射） | BX53MRF-S （反射） | BX53MTRF-S （反射/透射） | ||
| 聚焦 | 行程：25毫米 每轉行程微調：100 μm *小分度：1 μm 帶有用于粗調的上限限位器和扭矩調節 | ||||||||
| *高標本高度 | 反射：65毫米（無墊片），105毫米（帶BX3M-ARMAD） 反射/透射：35毫米（不帶墊片），75毫米（帶BX3M-ARMAD） | ||||||||
| 觀察筒 | 寬視場(F.N.22) | U-TR30-2-2 倒像：三目鏡筒 | |||||||
| 照明 | 反射光 透射光 | BX3M-KMA-S 白光LED，BF / DIC / POL / MIX FS，AS（帶定心機構），BF / DF互鎖 | BX3M-RLAS-S 編碼，白光LED，BF / DF / DIC / POL / MIX FS，AS（帶定心機構），BF / DF互鎖 | ||||||
| － | BX3M-LEDT 白光LED 阿貝/長工作距離聚光鏡 | － | BX3M-LEDT 白光LED 阿貝/長工作距離聚光鏡 | － | BX3M-LEDT 白光LED 阿貝/長工作距離聚光鏡 | ||||
| 物鏡轉換器 | U-5RE-2 用于明場（BF）：五孔 | U-D6BDRE 用于明場/暗場（BF/DF）：六孔 | U-D6BDRES-S 用于明場/暗場（BF/DF）：六孔，編碼型 | ||||||
| 目鏡（F.N.22) | WHN10 WHN10X-H | ||||||||
| MIX觀察 | － | BX3M-CB 控制箱 BX3M-HS 手動開關 U-MIXR 用于反射光觀察的MIX插片 U-MIXRCBL U-MIXR電纜 | |||||||
| 聚光鏡（長工作距離） | － | U-LWCD | － | U-LWCD | － | U-LWCD | |||
| 電源線 | UYCP (x1) | UYCP (x2) | |||||||
| 重量 | 反射：約15.8公斤（顯微鏡鏡架7.4公斤） 反射/透射：約18.3公斤（鏡架7.6公斤） | ||||||||
| 物鏡 | MPLFLN套裝 | MPLFLN5X, 10X, 20X, 50X, 100X BF/POL/FL觀察 | － | ||||||
| MPLFLN BD 套裝 | － | MPLFLN5XBD, 10XBD, BD, 50XBD, 100XBD BF / DF / DIC / POL / FL觀察 | |||||||
| MPLFLN-BD, LMPLFLN-BD 套裝 | － | MPLFLN5XBD, 10XBD, LMPLFLN20XBD, 50XBD, 100XBD BF / DF / DIC / POL / FL觀察 | |||||||
| 載物臺 (X × Y) | 76毫米x 52毫米 組件 | U-SVRM, U-MSSP 同軸右手柄載物臺/ 76（X）×52（Y）毫米，帶扭矩調節 | |||||||
| 100毫米 x 100毫米 組件 | U-SIC4R2, U-MSSP4 大尺寸同軸右手柄載物臺/ 100（X）x 100（Y）毫米，Y軸配有鎖定機構 | ||||||||
| 100毫米x 100（G）毫米組件 | U-SIC4R2, U-MSSPG 大尺寸同軸右手柄載物臺/ 100（X）x 100（Y）毫米，Y軸配有鎖定機構（玻璃板） | ||||||||
| 150毫米x 100毫米組件 | U-SIC64, U-SHG, U-SP64 大尺寸同軸右手柄載物臺/ 150（X）x 100（Y）毫米，帶扭矩調節，Y軸配有鎖定機構 | ||||||||
| 150毫米x 100（G）毫米組件 | U-SIC64, U-SHG, U-SPG64 大尺寸同軸右手柄載物臺/ 150（X）x 100（Y）毫米，帶扭矩調節，Y軸配有鎖定機構（玻璃板） | ||||||||
| 選配 | MIX觀察組件* | BX3M-CB, BX3M-HS, U-MIXR, U-MIXRCBL | － | ||||||
| DIC* | U-DICR | ||||||||
| 中間鏡筒 | U-CA, U-EPA2, U-TRU | ||||||||
| 濾光片 | U-25ND6, U-25ND25, U-25LBD, U-25LBA, U-25Y48, U-AN360-3, U-AN360P, U-PO3, U-POTP3, U-25IF550, U-25L42, U-25, U-25FR | ||||||||
| 聚光鏡用濾光片 | 43IF550-W45, U-POT | ||||||||
| 載物臺板 | U-D6BDRES-S, U-D6RE-ESD-2, U-D6BDRES-ESD, U-5RES-ESD | ||||||||
| 試樣托架 | U-HRD-4, U-HLD-4, U-HRDT-4, U-HLDT-4 | ||||||||
| 手柄橡膠 | U-SHG, U-SHGT | ||||||||
*不能與U-5RE-2一起使用。
| 項目 | 顯微鏡鏡架 | BX53MRF-S, BX53MTRF-S |
| 照明器 | BX3M-KMA-S, BX3M-RLA-S, BX3M-URAS-S, BX3M-RLAS-S | |
| 物鏡轉換器 | U-D6BDREMC, U-D6BDRES-S, U-D6RE-ESD, U-D5BDREMC-ESD, U-5RES-ESD | |
| 載物臺 | U-SIC4R2, U-MSSP4 |
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