內平面孔徑儀使用兩個或三個點來定位并直接測量孔徑，這也是測量孔徑的常用方法。根據被測孔徑的精度等級和數量，可以使用游標卡尺，工具顯示鏡，萬能測長儀，水平測長儀，水平光學測厚儀，氣動動量儀等通用長度測量工具；也可以使用特殊的孔徑測量工具，例如內徑千分尺，內徑百分表和百分表，內徑千分尺，電子塞規和基于氣動光學和電原理的孔徑計。
1.帶有杠桿機構的測量孔：此方法通常用于手持式孔徑測量工具，例如內徑百分表，機械或電氣內徑千分尺等。內平面孔徑儀測得的孔徑尺寸和校準環規之間的差光圈通過杠桿機構從百分表，機械或電氣千分尺讀出。這種測孔工具的測量孔徑范圍一般為10?800mm，內徑千分尺的測量精度可以達到3?5μM。
2.使用楔形原理測量孔：這種方法也常用于手持式孔測量工具中。用于測量小孔的內徑百分表可以測量小至0.5毫米的孔。當測得的孔壓緊探針并用圓錐體移動測量桿時，可以從百分表或千分尺讀出孔的誤差。三點定位方法適用于測量直徑大于3mm的孔。當測量桿旋轉時，測量桿在固定螺母的作用下向前移動，三個探頭通過圓錐形向外移動，圓錐體在測量桿的頂部帶有螺旋凸起，并與被測孔接觸。從固定套筒和差動缸上的刻度上讀出測得的孔徑，有三個用于測孔的爪式千分尺。
3.根據氣動，光學和電動原理，必須在接近20℃的恒定溫度下進行內平面孔徑儀的高精度孔徑測量。光學干涉孔徑計的孔徑測量范圍為1?50mm，精度為±0.5μM.
