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亞納米定位分辨率
該平移臺的定位分辨率低至 0.2 nm,因此可以進行超精細調節,且該分辨率僅受限于控制器件的噪聲。
大范圍的壓電行程
針對高占空比的循環操作,NPX 壓電疊堆線性平移臺具有可靠性高、多層、低壓壓電疊堆的特性。復雜的 FEA 優化的平行四邊形固態撓性導向系統可確保完美的平行運動和高達 400 µm 的行程范圍。由于該平臺符合無摩擦導向原理,無需維護,不存在磨損。更重要的是,其輸出運動靈敏度不會受機械摩擦的影響。
可選集成應變計,適用于閉環操作
閉環產品(型號以 SG 結尾)內部集成有高分辨率應變計位置傳感器,其支持高精密且可重復的運動,而且還會對促動器蠕變進行補償。該產品的裝配基于完整的惠斯通電橋進行,并且對溫度不敏感。閉環產品即可開環也可閉環控制。
提供真空版本
該平移臺具有真空兼容版本,可在真空 (10-6 Torr) 環境中使用。
NPX 壓電疊堆線性平移臺提供一、兩或三軸上的長行程亞納米分辨率的運動,所有這些均在一個緊湊型封裝中實現。它們具有快速響應和快速穩定性能,使它們可以用于動態過程(如高頻誤差補償、跟蹤、快速步進或連續掃描)。