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詳細(xì)介紹
Sanyu SC-701MKll 離子濺射儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上小型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于電極鍍膜，也可用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品制樣鍍膜。
SC-701MKll 離子濺射儀是系列體型最小的緊湊型離子濺射儀，操作簡單，易于使用。標(biāo)配間歇濺射功能，可有效減少離子損傷。手動(dòng)式操作，大樣品倉設(shè)計(jì)，同時(shí)采用前門開閉式設(shè)計(jì)，靶材直徑49毫米，標(biāo)配金靶。
技術(shù)參數(shù)
SC-701MKll 離子濺射儀 | |
樣品室 | 直徑90x 90mm 高，SUS材質(zhì) |
靶材 | 標(biāo)配Au，Pt/Pt-Pd/Au-Pd/Pd/Ag可選，φ49mm |
樣品臺 | 直徑：50mm |
濺射方式 | DC直流濺射 |
濺射時(shí)間 | 0~15分鐘，最長30分鐘（在連續(xù)模式下） |
濺射真空 | 5~30Pa |
高壓/電流 | 1.2kV/9.9mA |
進(jìn)氣控制 | 針閥控制 |
抽氣速率 | 20L/MIN |
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