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深圳維爾克斯光電有限公司
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SID4-UV-HR-紫外高分辨率波前傳感器
  • SID4-UV-HR-紫外高分辨率波前傳感器
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更新時(shí)間:2024-07-25 17:23:59

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法國Phasics的紫外高分辨率波前傳感器是基于Phasics特別的SID4四波橫向剪切干涉技術(shù),高分辨率波前傳感器SID4-UV可覆蓋190-400 nm紫外檢測波段,在紫外線光譜中提供了高分辨率(355x280測量點(diǎn))和高靈敏度(1 nm RMS)。為波前像差、波前畸變的檢測以及激光光束及波前探測、分析提供了全新方案。

法國Phasics的紫外高分辨率波前傳感器


190-400nm紫外相應(yīng)高靈敏度的紫外高分辨率波前分析儀

基于特別知識(shí)產(chǎn)權(quán)技術(shù),法國Phasics公司的波前傳感器具備高靈敏度及高相位分辨率的特點(diǎn),即插即用的適用類型適用于大多數(shù)用戶的應(yīng)用環(huán)境。法國Phasics公司為用戶提供兩款紫外檢測波前分析儀,SID4-UVSID4-UV-HR

相比之下,SID4-UV適用于250-400 nm波段的紫外光譜,250 × 250的取樣分辨率、2 nm RMS的相位靈敏度以及7.4 × 7.4 mm2的靶面面積足以滿足大部分用戶需求,相比于SID4-UV-HR更具備成本效益,在滿足用戶使用需求的前提下有效的節(jié)約用戶成本。

其中SID4-UV-HR作為SID4-UV的增強(qiáng)款,該設(shè)備在190-400 nm的紫外波段有著高相位分辨率(355×280取樣分辨率)、高相位靈敏度(優(yōu)于1 nm RMS)以及更大的靶面面積(13.8 x 10.88 mm2)。這使得SID4-UV-HR適用于光刻、半導(dǎo)體等領(lǐng)域,尤其適用于透鏡或晶圓等的光學(xué)組件表征以及波前像差,波前曲線的波前探測需求。


高分辨率波前傳感器應(yīng)用領(lǐng)域:

-天文觀測

-航空航天工業(yè)

-半導(dǎo)體加工


-工業(yè)激光

-光學(xué)元件及組裝

-增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)-虛擬現(xiàn)實(shí)


SID4-UV高分辨率波前傳感器產(chǎn)品規(guī)格:

*使用建議電腦搭載SID4軟件環(huán)境下



高分辨率波前傳感器主要特點(diǎn):

-190-400 nm紫外波段響應(yīng)

-1 nm RMS高相位靈敏度

-355 × 280超高相位取樣分辨率


紫外波前分析儀主要特點(diǎn):

-250 - 400 nm紫外波段響應(yīng)

-2 nm RMS高相位靈敏度

-250 × 250超高相位取樣分辨率

高分辨率波前傳感器產(chǎn)品應(yīng)用:

-激光檢測

-自適應(yīng)光學(xué)檢測

-等離子體檢測

-光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量

SID4-UV-HR高分辨率波前傳感器產(chǎn)品規(guī)格:

*使用建議電腦搭載SID4軟件環(huán)境下


高分辨率波前傳感器產(chǎn)品應(yīng)用:

-激光檢測

-自適應(yīng)光學(xué)檢測

-等離子體檢測

-光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量

-波前曲線檢測


法國Phasics的紫外高分辨率波前傳感器


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