首頁 >> 供求商機
產(chǎn)品特點：
u 可模擬生產(chǎn)條件，便于小批量中試生產(chǎn)。
u 桌面型，占用空間小。
u 性能穩(wěn)定，操作簡便，使用成本低，易于維護，性價比高。
u 有效處理面積大，可處理8寸硅片去膠等應用。
u 可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品，進行清洗和改性。
技術(shù)參數(shù)：
型號 | CPC-10 | CPC-10plus |
艙體尺寸 | D300xΦ215mm | D300xΦ215mm |
艙體容積 | 10.8L | 10.8L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
射頻功率 | 10-300W可調(diào) | 10-150W可調(diào) |
氣體控制 | 雙浮子流量計（標配） | |
最大處理尺寸 | L215xW300mm | |
產(chǎn)品尺寸 | L555xW480xH525mm | |
包裝尺寸 | L680xW605xH790mm | |
時間設定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速約8m3/h | |
氣體穩(wěn)定時間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內(nèi) | |
電 源 | AC220V 50-60Hz | |
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