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更新時(shí)間：2024-08-05 11:48:40
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等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
u 可模擬生產(chǎn)條件，便于小批量中試生產(chǎn)。
u 桌面型，占用空間小。
u 性能穩(wěn)定，操作簡(jiǎn)便，使用成本低，易于維護(hù)，性價(jià)比高。
u 有效處理面積大，可處理8寸硅片去膠等應(yīng)用。
u 可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品，進(jìn)行清洗和改性。
等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | CPC-12 | CPC-12plus |
艙體尺寸 | H120xΦ370mm | H120xΦ370mm |
艙體容積 | 12.8L | 12.8L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動(dòng)匹配 | 自動(dòng)匹配 |
射頻功率 | 10-300W可調(diào) | 10-300W可調(diào) |
氣體控制 | 質(zhì)量流量計(jì)（MFC）（標(biāo)配單路，可選雙路） | |
最大處理尺寸 | Φ370mm圓盤 | |
產(chǎn)品尺寸 | L618xW520xH465mm | |
包裝尺寸 | L750xW640xH570mm | |
時(shí)間設(shè)定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速約8m3/h | |
氣體穩(wěn)定時(shí)間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內(nèi) | |
電 源 | AC220V 50-60Hz | |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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