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CIF掃描電鏡等離子清洗機
CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用雙等離子清洗源設計，自動切換，一機多用，清洗快速高效、低等離子體轟擊損傷，核心部件采用品牌，保證設備優異的質量和穩定性。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。
產品特點
雙等離子清洗源
原位清洗
快速高效
即插即用
技術參數
產品型號 | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40 |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 兩種等離子體清洗源，原位等離子源和遠程等離子源，自動匹配器 |
13.56MHz等離子RF電源，5-100W可調 | |
氣體控制 | 標配MFC流量計（N2）/1只 |
真空互鎖 | 采用美國MKS數字真空計，和電磁閥安全互鎖 |
冷卻方式 | 風冷 |
控制方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，互動操作界面 |
質量保證 | 二年免費，終身維護 |
電源/功率 | 220V，50/60Hz，200W |
可選配件 | 制氫（氧）機200SCCM，MFC流量計50SCCM（H2、O2、Ar） |
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