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1、是一種無接觸方式，可在空氣中進行并且在清洗后不必進行干燥。

2、可清除物體表面的碳和有機污染物。

3、沒有溶劑揮發(fā)及廢棄溶劑的處理問題。

4、保證產(chǎn)品的高可靠性和高成品率。

5、產(chǎn)品表面清洗處理的均勻度一致。

6、由于光清洗是通過光敏、氧化反應(yīng)去除物體表面的碳和有機化合物，所以容易發(fā)生氧化的表面不宜用光清洗方法，只適對表面污垢清洗、不適對污垢量較多的無機類污垢清洗。

紫外臭氧清洗機應(yīng)用在生活中的作用：

1、在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，硅晶片涂保護膜、鋁蒸發(fā)膜前進行光清洗，可以提高粘合力，防止針孔、裂縫的發(fā)生。

2、光學(xué)玻璃經(jīng)過紫外光清洗后，鍍膜質(zhì)量更好。