現在電子氣體的使用越來越多，半導體的生產、LED的生產、晶體加工、精密加工等行業帶來很多麻煩，這些毒氣的檢測都離不開硅烷（SIH4）傳感器
硅烷（SIH4）傳感器
一、硅烷（SIH4）傳感器概述：
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上*的大規模生產粒狀高純度硅的中間產物。
現在電子氣體的使用越來越多，半導體的生產、LED的生產、晶體加工、精密加工等行業帶來很多麻煩，這些毒氣的檢測都離不開SIH4.
二、硅烷（SIH4)傳感器選型表：
三、硅烷(CL2）傳感器應用領域：
生產過程安全檢測、環境污染檢測、大氣環境檢測、垃圾焚燒煙氣監測
四、硅烷（SIH4)傳感器技術參數：
產品名稱：高精度硅烷(SIH4)傳感器 SIH4/C-50
產品主要參數：
測量范圍：0～50ppm
zui大負載：ND
工作壽命：空氣中2年
輸出信號：1000±300nA/ppm
分辨率：0.2 ppm
溫度范圍：-40°C to 45°C
壓力范圍:標準大氣壓± 10%
響應時間(T90)：﹤60sec
相對濕度范圍：15%to90%
典型基線范圍（純凈的空氣， 20 ℃ ）：0 to -1ppm
zui大零點漂移（20°C to 40°C）：ND
長期輸出漂移：﹤2% signal loss/months
推薦加載電阻：10 Ω
偏置電壓：不需要
產品名稱：高精度硅烷(SIH4)傳感器 SIH4/M-50
產品主要參數：
測量范圍：0～50ppm
zui大負載：ND
工作壽命：空氣中2年
輸出信號：500±60nA/ppm
分辨率：0.3 ppm
溫度范圍：-40°C to 50°C
壓力范圍:標準大氣壓± 10%
響應時間(T90)：﹤60sec
相對濕度范圍：15%to90%
典型基線范圍（純凈的空氣， 20 ℃ ）：0 to -1ppm
zui大零點漂移（20°C to 40°C）：ND
長期輸出漂移：﹤2% signal loss/months
推薦加載電阻：10 Ω
偏置電壓：不需要
產品名稱：高精度硅烷(SIH4)傳感器 SIH4/S-50-S
產品主要參數：
測量范圍：0～50ppm
zui大負載：ND
工作壽命：空氣中2年
輸出信號：1000±300nA/ppm
分辨率：0.2 ppm
溫度范圍：-40°C to 45°C
壓力范圍:標準大氣壓± 10%
響應時間(T90)：﹤60sec
相對濕度范圍：15%to90%
典型基線范圍（純凈的空氣， 20 ℃ ）：0 to -1ppm
zui大零點漂移（20°C to 40°C）：ND
長期輸出漂移：﹤2% signal loss/months
推薦加載電阻：10 Ω
偏置電壓：不需要
產品名稱：高精度硅烷(SIH4)傳感器 SIH4/S-50
產品主要參數：
測量范圍：0～50ppm
zui大負載：ND
工作壽命：空氣中2年
輸出信號：1000±300nA/ppm
分辨率：0.2 ppm
溫度范圍：-40°C to 45°C
壓力范圍:標準大氣壓± 10%
響應時間(T90)：﹤60sec
相對濕度范圍：15%to90%
典型基線范圍（純凈的空氣， 20 ℃ ）：0 to -1ppm
zui大零點漂移（20°C to 40°C）：ND
長期輸出漂移：﹤2% signal loss/months
推薦加載電阻：10 Ω
偏置電壓：不需要
五、 硅烷（SIH4)傳感器結構：
六、 硅烷（SIH4)傳感器圖片：
