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等離子Parylene派瑞林鍍膜集成系統是一種適用于低壓環境下最復雜涂布工藝的機器人驅動多腔室系統，是集成等離子的清洗與聚合系統。該廣泛應用于多個行業，包括航天航空、半導體、新能源、軍工、汽車、手機、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數碼及電子等領域。通過Parylene涂敷后的產品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。

PPS所提供的Parylene 派瑞林真空鍍膜系統具有以下優勢：
      1、在真空腔體中集成等離子源
      2、兼容超凈間的系統設計
      3、經過驗證且具有完整可塑性的生產流程
      4、可以提供從定制化的涂覆系統和量身定制的工藝開發，到全面的耗材、備件供應以及長期的技術支持服務

等離子Parylene派瑞林鍍膜集成系統Cluster System

我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設備既有適用于科研領域的實驗型機型，也有適用于工業量產領域的工業機型。同時，我們也可以根據需求在真空腔體中集成等離子源，實現在沉積之前能夠對基材進行表面化處理，從而提高薄膜的粘附性。另外，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統設計，在小占地面積下提供高性能技術，節約大量的超凈間占地空間。

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