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產品簡介
白光干涉形貌儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產品的組合可根據不同的技術應用要求而改變。針對樣品的同一區域可進行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現全自動化。多項技術的整合能夠使不同技術在同一檢測儀上充分發揮各自的優勢。該項整合技術不僅有利于數據的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。
詳細介紹
白光干涉儀技術參數
項 目 簡 述 | 參數說明 |
白光干涉形貌儀 | Z向高分辨率, 亞納米級 兼具相移（PSI）以及垂直掃描（VSI）模式 Z向分辨率可獨立放大 四色CCD 相機，用戶可自選的LED光源 (白光，綠光，藍光和紅光) 高達五百萬像素的可自動分辨的CCD 相機 快速處理器在業界位于水平 自動對焦
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