激光震蕩衰減水分儀給檢測帶來便利

閱讀：1523發布時間：2022-3-21

　　激光震蕩衰減水分儀在許多領域都非常重要，例如光譜學，化學分析、醫療診斷、環境監測和工業生產中的污染物控制等。在過去二十年間，隨著半導體產業的進步，半導體生產所用的氣體中允許的不純度減少了四個數量級。

　　該儀器在性能上做了重大改革，摒棄了傳統儀器操作費時費力、人工因素影響大等缺點，適用于各個行業以及實驗室的需求，在使用中更便利。一般來說，水分儀測量一般樣品只需幾分鐘，檢測結果準確，且檢測效率遠遠高于烘箱法，避免了因為人工因素對測量結果產生的誤差。除此之外，水分儀還具有測量水分范圍寬、精度高、顯示清晰、測量迅速、性能穩定、指標可靠等優點，可隨身攜帶在現場快速檢測。

　　超高純度氣體對于半導體集成電路中所要求得越來越小的幾何特點具有極其重要的作用。特別是已經證實了的，氣體中只要有十億分之幾(ppb)的水分就可在硅片上導致瑕疵。所以半導體制造商要求氣體供應商清楚地保證水分不能大于1-10ppb，今后會要求更低的水平。

　　半導體產業對高純度氣體的需求對氣體供應商和分析儀器制造商提出了巨大挑戰。微量水分的監測不僅用于大用量氣體，例如氮氣、氧氣、氫氣、氦氣和氬氣，而且還要監測特殊氣體，例如HCl，HBr，BF3，AsH3，CF4和許多其他氣體。這些氣體往往是高腐蝕性、易反應和有毒的。

　　激光震蕩衰減水分儀是少數能達到上述要求的一種基于激光的光譜技術。基于光腔衰蕩光譜(CRDS)原理的儀器，MTO-1000-H2O，可以準確、快速地檢測普通氣體中200ppt的水分，此儀器還可用于腐蝕性和有毒氣體。

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