硬鍍膜的益處
傳統(tǒng)的軟鍍膜，一種通常為光學(xué)組件鍍膜的技術(shù)，可能很快會(huì)被一種稱(chēng)為硬鍍膜的更高性能鍍膜技術(shù)所取代。因?yàn)橄鄬?duì)傳統(tǒng)的軟鍍膜，精細(xì)的硬鍍膜具有幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)。
軟鍍膜是多層薄膜，由硫化鋅、冷凍劑、有時(shí)甚至是銀組成。對(duì)于傳統(tǒng)的干涉濾光片，鍍膜組件被層壓在一個(gè)垂直的堆棧中，以提供抵御周?chē)h(huán)境的保護(hù)，通常是從較大的晶圓上取下?？紤]到所使用的材料和制造工藝，軟鍍膜易碎。鍍膜材料經(jīng)常被從濾光片的邊緣移除，以避免鍍膜因潮濕而退化，并增加鍍膜的使用期限。圖 1顯示成品的圖表。
圖 1:具有薄膜鍍膜的傳統(tǒng)干涉濾光片的示意圖
軟鍍膜的成本是由低成本的沉積設(shè)備、快速循環(huán)時(shí)間和廉價(jià)的浮法玻璃基片來(lái)保持，但是由于密封和環(huán)形組件，操作成本很高。成本與容量比具有漸近趨勢(shì)：在低容量的情況下昂貴，只有在幾十個(gè)1英寸產(chǎn)品或少量2英寸或尺寸更大產(chǎn)品制作之后才會(huì)穩(wěn)定下來(lái)。
硬鍍膜薄膜是利用等離子沉積過(guò)程制作而成的，與軟鍍膜相比，它具有多個(gè)優(yōu)勢(shì)。等離子沉積過(guò)程是用計(jì)算機(jī)嚴(yán)格控制的，它甚至可以實(shí)現(xiàn)分層，擁有良好的環(huán)境適應(yīng)性和更好的性能。例如，作為波長(zhǎng)的一個(gè)函數(shù)，硬鍍膜的透光率不僅更加一致，而且通常高于軟鍍膜的透光率。
如圖2所示，硬鍍膜在可見(jiàn)光譜和紫外線中具有超過(guò)90%的透射率。另一方面，軟鍍膜無(wú)法達(dá)到90%的透射率，并且性能在紫外線附近顯著下降。此外，起始和截止轉(zhuǎn)換還有一些改進(jìn)。軟鍍膜有個(gè)漸進(jìn)的過(guò)渡，從沒(méi)有透射率過(guò)渡到大透射率，而硬鍍膜的過(guò)渡更陡。
圖 2:軟鍍膜和硬鍍膜的性能比較
比較軟鍍膜和硬鍍膜技術(shù)的性能 | |||
屬性 | 軟鍍膜 | 硬鍍膜 | 備注 |
工作壽命 | 1至5年 | 無(wú)限期（在正常的操作條件下） | 軟鍍膜更容易受環(huán)境因素影響，尤其是高濕度。這些工作壽命是以典型的辦公環(huán)境為背景計(jì)算的。 |
溫度穩(wěn)定性 | 每波長(zhǎng)每百萬(wàn)平均50個(gè)部件 | 每波長(zhǎng)每百萬(wàn)不到5個(gè)部件 | 軟鍍膜要求溫度控制在±15°C，1nm的濾光片容差。硬鍍膜在1550nm時(shí)不到1pm/°C，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于1ppm/λ。 |
制造可重復(fù)性 | 低 | 高 | *自動(dòng)的硬鍍膜生產(chǎn)過(guò)程可提高重復(fù)性。 |
透射波長(zhǎng)錯(cuò)誤 | 能達(dá)到小于λ/4PV值 | 能達(dá)到小于λ/4PV 值 | 硬鍍膜基本有TWE 值，其等于無(wú)鍍膜光學(xué)元件的值。軟鍍膜在層壓過(guò)程后必須經(jīng)過(guò)大量拋光。 |
生產(chǎn)成本 | 如果大批量生產(chǎn)，成本降低 | 由于重復(fù)性和自動(dòng)化過(guò)程，成本降低 | 可以等于或低于其軟鍍膜的價(jià)格大量銷(xiāo)售硬鍍膜。 |
表 表1:軟鍍膜和硬鍍膜的優(yōu)勢(shì)比較
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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