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實驗常規(guī)儀器和其它: 傾斜站冷板探測器記錄儀測光儀閃爍計測光表測量系統(tǒng) 光譜儀輻射儀溶解器滴定器滲濾測試系統(tǒng) 光刻機混合器切片機吸管液壓機均化器冷凍機讀數(shù)器制冰機監(jiān)視器熱風(fēng)槍絮凝器循環(huán)浴儲存箱色譜罐支架儀器防潮箱電熱包分解爐試驗器冷凍干燥機旋涂儀浴槽均質(zhì)機分析/測量儀器球磨機涂布熔點儀實驗通風(fēng)柜粘度計旋光移液器安全柜處理器折光儀萃取器導(dǎo)率儀 PH計比色計試管光度計循環(huán)儀過濾器濾紙反應(yīng)器打印機溫度計控制器制備器下沉砝碼和玻璃連接物硅管循環(huán)器除霜器

生物實驗儀器: 實驗箱消化器乳化機復(fù)制器自動化銷工具一次性銷工具液體處理部件支撐架及磁珠分離器具多功能桿或集合管磁珠分離器具吸氣與分配器具

電子元器件: 電源

POLOS® SPIN150X 基材旋涂機 PTFE 高級版
POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機，由PTFE制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。
可以同時實現(xiàn)臺式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手動或自動（可選）化學(xué)藥劑分配。
適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。

POLOS® SPIN150X 基材旋涂機 PTFE 高級版

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可以同時實現(xiàn)臺式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手動或自動（可選）化學(xué)藥劑分配。

適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。

POLOS® SPIN150X 基材旋涂機 PTFE 高級版

腔室規(guī)格:

- 最大支持6英寸（150毫米）晶圓

- 最大支持4英寸×4英寸（100毫米）基板

- 材質(zhì): PTFE

硬件規(guī)格:

- 液體過濾器

- 具有特殊的外殼和排水設(shè)計，可在現(xiàn)場輕松切換臺式和嵌入式型號.

- 配備中心注射架，用于安裝注射器或分配噴嘴

- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全

-大型（可拆卸）觸摸顯示屏

- USB 端口，用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進(jìn)行軟件更新

- 8 I/O 端口

-能夠定義電機歸零位置，便于在機器人控制/自動化環(huán)境中進(jìn)行集成

-通過集成步進(jìn)電機實現(xiàn)自動開蓋和關(guān)蓋.

驅(qū)動單元規(guī)格:

- 采用間接無刷驅(qū)動單元

- 最高轉(zhuǎn)速可達(dá)12,000 RPM（取決于基板/卡盤）

- 具有高加速度和高精度

- 加/減速范圍為1-30,000 RPM

- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項

隨附旋涂儀卡盤和適配器

- 隨附1個A-V36-S45-PTFE-HD真空卡盤.

- 隨附1個D-V10-S50-PTFE-HD碎片適配器.

- 由FCA SPS-Europe, The Netherlands提供

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