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實驗常規儀器和其它: 傾斜站冷板探測器記錄儀測光儀閃爍計測光表測量系統光譜儀輻射儀溶解器滴定器滲濾測試系統光刻機混合器切片機吸管液壓機均化器冷凍機讀數器制冰機監視器熱風槍絮凝器循環浴儲存箱色譜罐支架儀器防潮箱電熱包分解爐試驗器冷凍干燥機旋涂儀浴槽均質機分析/測量儀器球磨機涂布熔點儀實驗通風柜粘度計旋光移液器安全柜處理器折光儀萃取器導率儀 PH計比色計試管光度計循環儀過濾器濾紙反應器打印機溫度計控制器制備器下沉砝碼和玻璃連接物硅管循環器除霜器

POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 PTFE 高級版
POLOS® SPIN200x是一種多功能、高質量的基材旋涂機，由PTFE 制成。
它專為研發和小批量生產而設計。

POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 PTFE 高級版

POLOS® SPIN200x是一種多功能、高質量的基材旋涂機，由PTFE 制成。

它專為研發和小批量生產而設計。

可以同時實現臺式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手動或自動（可選）化學藥劑分配。

適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。

POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 PTFE 高級版

腔室規格:

- 最大支持8" (200mm) 晶圓

- 最大支持6" x 6" (105mm) 基板

- 材質: PTFE

硬件規格

- 液體過濾器

- 具有特殊的外殼和排水設計，可在現場輕松切換臺式和嵌入式型號.

- 配備中心注射架，用于安裝注射器或分配噴嘴

- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全

-大型（可拆卸）觸摸顯示屏

- USB 端口，用于在 USB 驅動器上存儲配方和進行軟件更新

- 8 I/O 端口

- 能夠定義電機歸零位置，便于在機器人控制/自動化環境中進行集成

- 通過集成步進電機實現自動開蓋和關蓋.

驅動單元規格:

- 采用間接無刷驅動單元

- 最高轉速可達12,000 RPM（取決于基板/卡盤）

- 具有高加速度和高精度

- 加/減速范圍為1-30,000 RPM

- CW、CCW旋轉和Puddle選項

隨附旋涂儀卡盤和適配器:

-隨附1x A-V87-S96-PP-HD, 真空卡盤

或

-隨附1 x A-V36-S45-PTFE-HD, 真空卡盤

-隨附1 x D-V10-S50-PTFE-HD, 碎片適配器

- FCA SPS-Europe, The Netherlands

POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 PTFE 高級版

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