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防腐蝕隔膜真空泵過濾材料臟了或者消音器臟了都會使空氣流通不暢，并且會引起過熱和噪音過大，所以請定期檢查泵頭內的過濾材料。如果有需要，用酒精清理氣室。禁止用有機化合物，酸類，腐蝕性的，易燃的溶劑清洗，禁止潤滑任何部位，否則會影響泵的使用壽命。
一、防腐蝕隔膜真空泵維護步驟
您可以將泵返回廠內進行維修，或者按照一下步驟進行安裝。每臺機器都包括了以下的部件：真空壓力表（-0.1Mpa）1塊，連接膠管1根，消音器一塊，說明書一份。以下以基礎型泵LH-85為例（請記住所有配件的位置）
1、防腐蝕隔膜真空泵斷開電源
警告：維修前一定要斷開電源，以免造成人員傷亡。
2、松開壓力閥，放出泵體內的氣體。
3、拔掉膠管
4、卸下壓力表，記住壓力表的安放位置，卸下四通閥。
5、擰下泵頭處的6個內六角螺絲，打開氣室，留存好螺絲。
6、氣室的反面的凹槽內有密封圈，如果密封圈已經破損，請丟棄；氣室內有過濾棉，如果臟了請丟棄。7、氣室下方是圓形的膜腔（安裝有閥片），拔出膜腔。
8、檢查閥片（黑色橡膠的以及不銹鋼的）是否老化破損，如果破損了或者過臟，請進行更換或者清理。只需擰下螺絲即可。
9、膜腔下方為黑色的膜片，用小壓蓋固定住。擰開小壓蓋上的三個螺絲，留存好螺絲，取下壓蓋，肉眼觀察膜片是否破損，如有破損或者老化嚴重，請更換。
10、如果需要，用水系的溶劑清洗泵頭，或者用高壓氣體吹走臟物。
二、防腐蝕隔膜真空泵注意事項
1、不要使用有機化合物，酸類，腐蝕性的溶劑清洗，也不要潤滑任何部位，否則會減少泵的使用壽命，僅僅使用水系的溶劑。
2、維修前一定要斷開電源，如果電機無法運轉，或者其在壓力下開始運轉緩慢，關掉開關，斷開電源。確保<供給電源與銘牌上所示電源一致。檢查插頭，電線還有開關，看是否有老化脫落現象。如果泵過熱，或者噪音過大，立即停止運轉，進行維修。