三坐標測量機維修保養中，氣源維護一般采用空壓機和冷凍干燥機。空壓機和空氣干燥機是專業凈化空氣的裝置。氣源設備一般成本不高，可以過濾掉空氣中的水分、油跡，能降低三坐標的故障率，延長三坐標測量機的使用壽命。
　　

       1、空壓機輸送的壓縮氣體溫度在40~80℃之間，為保障三坐標測量機的正常運行，安裝冷凝設備，否則高溫氣體在管道內冷凝，形成大量的冷凝水會腐蝕管道，產生鐵銹。

         2、選用的冷凍干燥機應該具備10℃或更低的露點溫度，以防壓縮空氣噴射到導軌面產生冷凝水。管路內設置排水口，用于排除冷凝水和油分。

　　  3 、不要使用金屬管線，以防生銹污染，采用柔性管線連接，盡量縮短長度，以減少管線中的壓降。
　　

         4、對于空氣濕度較大的區域及本身空壓設備陳舊，壓縮空氣中雜質大，必須增加冷凍干燥機等后處理設備。

　　 5、空壓機、冷凍干燥機等前置過濾裝置，安裝在三坐標測量機后方墻體上方便觀察的位置，放水口處放置盛水容器。
　　

          6、把供氣部件安裝在機房外面，空壓機到三坐標測量機的距離不小50m，防止空壓機運行時帶來振動源。 否則，需要考慮安裝減震裝置。