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體積表面電阻率測試儀的結構組成、測量精度

閱讀:155發布時間:2025-3-25

體積表面電阻率測試儀由電極系統、高阻計、直流高壓源、屏蔽箱及控制系統構成。核心部件為三電極結構:主電極(直徑≥50mm)、環形保護電極(間隙≤2mm)及接地電極,采用不銹鋼或鍍金工藝確保接觸阻抗<0.1Ω。高阻計配備10^15Ω輸入阻抗的前置放大器,電流分辨率達0.1fA(10^-16A),電壓源輸出0-1000V DC,精度±0.5%+2V。屏蔽箱采用雙層電磁屏蔽設計,內部殘余噪聲<5μV。測量時通過四線法消除引線電阻誤差,自動切換10^3-10^16Ω量程。在標準環境(23±1°C,50±5%RH)下,體積電阻率測量誤差≤±5%(10^6-10^14Ω范圍),表面電阻率重復性±3%。校準采用國家標準電阻器(10^6/10^9/10^12/10^15Ω),年穩定性±0.5%。測試電壓紋波系數<1%,電極系統電容補償精度±0.5pF。





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