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ICP-MS全稱是電感耦合等離子體-質譜法(Inductively coupled plasma-Mass  Spectrometry)它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器，它能同時測定幾十種痕量無機元素，可進行同位素分析、單元素和多元素分析，以及有機物中金屬元素的形態分析。

1、原理

（1）在ICP-MS中，ICP起到離子源的作用，ICP利用在電感線圈上施加強大功率的高頻射頻信號在線圈內部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續電離，被分析樣品由蠕動泵送入霧化器形成氣溶膠，由載氣帶入等離子體焰炬中心區，發生蒸發、分解、激發和電離。高溫的等離子體使大多數樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子。

（2）通過ICP-MS的接口將等離子體中的離子有效傳輸到質譜儀；

（3）質譜是一個質量篩選和分析器，通過選擇不同質核比（m/z）的離子通過來檢測到某個離子的強度，進而分析計算出某種元素的強度。

2、結構

（1）電感耦合等離子體：樣品引入系統；離子源

（2）接口：采樣錐；截取錐

（3）質譜：離子透鏡系統；四級桿離子過濾器；檢測器

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