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原子熒光光譜儀中原子熒光光譜法的英文縮寫。原子蒸氣吸收特定波長的光輻射的能量而被激發，受激原子在去激發過程中發射出一定波長的光輻射稱為原子熒光，檢測原子熒光得出分析數據的分析方法成為原子熒光光譜法。
載流：原子熒光光譜儀中主要作用是和還原劑反應，生成初生態氫（H? ）。
還原劑：產生初生態氫（H? ）的主要來源。
原子化器：氫化物原子化所在位置，結構為石英爐和電爐絲。氫化物發生器產生的氫化物由載氣推送到石英爐心，經點火形成氬－氫火焰，使進入的氫化物原子化。
蠕動泵：一種通過蠕動擠壓硅膠管達到進樣的目的進樣裝置。
氫化物發生器：氫化物發生（HG），在原子熒光光譜儀中提供載流及樣品和還原劑發應條件的裝置。由進樣系統、氣液分離系統、氣路組成，通常把氫化物發生－原子熒光簡稱為HG－AFS。
載氣：推動氫化物在管路中移動的氣體。
屏蔽氣：作為氬－氫火焰外圍的保護氣，防止原子蒸氣被周圍空氣氧化，且起到保護火焰形狀穩定的作用。
原子化器高度：原子化器頂端到透鏡中心水平線的垂直距離。
原子化器溫度：是指石英爐芯內的溫度，即預加熱溫度，基本上為200℃。
原子化溫度：是指氬－氫火焰溫度，大約在780℃。
檢測器：原子熒光光譜儀中分光檢測熒光的裝置，常用光電倍增管。
光漂：由于光源因素引起的檢測值的漂移。
溫漂：由于環境溫度引起的檢測值的漂移，Hg燈特別明顯。
燈電流：陰極燈的工作電流，一定范圍內隨著燈電流增加熒光強度增加，過大會產生自吸現象，且噪聲會明顯增大，壽命縮短。
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