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四川重慶高校研究型小型真空等離子清洗機設備簡介：

• 離子電源、抽真空系統、充氣系統、自動控制系統等部分組成。工作基本原理是在真空狀態下，等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進行抽真空達到30-40pa 的真空度，再在高頻發生器作用下，將氣體進行電離，形成等離子體（物質第四態），其顯著的特點是高均刀性輝光放電，根據不同氣體發出從藍色到深紫色的彩色可見光，材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發生作用，得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

四川重慶高校研究型小型真空等離子清洗機處理優點：

1. 環保技術：等離子體作用過程是氣- 固相干式反應 ,不消耗水資源、無需添加化學藥劑,對環境無污染。
2. 廣適性：不分處理對象的基材類型,均可進行處理,如金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料都能很好地處理；
3. 溫度低：接近常溫，特別適于高分子材料，比電暈和火焰方法有較長保存時間和較高表面張力。
4. 功能強：僅涉及高分子材料淺表面（10 -1000A ），可在保持材料自身特性的 同時，賦予其一種或多種新的功能；

5.低成本：裝置簡單，易操作維修，可連續運行，往往幾瓶氣體就可以代替數千公斤清洗液,因此清洗成本會大大低于濕法清洗。 

6. 全過程可控工藝：所有參數可由電腦設置和數據記錄，進行工藝質量控制。

7. 處理物幾何形狀無限制：大或小，簡單或復雜，部件或紡織品，均可處理。

SPV-5等離子清洗機技術參數

功率

0-300W

頻率

40KHz

腔體尺寸

直徑 150mm×270mm 容量 5L（腔體可定制）

外形尺寸

560×540×550mm

供電電源

AC220V

真空度

1-30Pa（壓力表量化值顯示，可選裝高真空硅管）

氣體路數

雙路氣體輸入

氣體流量

10—100ml/min(浮子流量計，可選裝電子流量計 10-300ml/min)

控制過程

PLC 人機界面自動與手動方式

清洗時間

1-99999s 可調

功率大小

10%-*可調

冷卻方式

強制風冷

腔體溫度

                 ＜35℃

電極板

                單層電極板

離子轟擊方向

               電極板垂直向下

真空泵

2XZ-4（抽速 4L/S）