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KASHIYAMA SDE1220-011 真空泵
規格
| 型號 | SDE1220-011 |
| 極限壓力 | 0.5Pa |
進氣口法蘭 | VG100 |
| 排氣口法蘭 | NW40 |
| 電源 | 三相AC200-220V（50/60Hz）16.0kVA |
組成
| 螺桿型干式真空泵 | （SDE200）（標準溫度） | 1 |
| 機械增壓泵 | (KMB1203) | 1 |
| 電氣設備箱 | / | 1 |
| 真空管道 | / | 1 |
| 柜室 | / | 1 |
| 消音器 (SR-19) | / | 1 |
.功用
| 電源 | 三相AC200-220V（50/60Hz）16.0kVA | |
| SDE200 | 11.5kVA | |
| KMB1203 | 4.5kVA | |
| 冷卻水 | 4-8L/min.10 - 25°C | |
| 供給電壓（表壓） | 0.3 - 0.5Mpa | |
| 連接 | Rc 3/8"（自密封耦合器） | |
| N2 （吹掃） | 0-80 SLM（N2吹掃速率取決于各工序。） | |
| 供給電壓（表壓） | 0.1-0.7MPa | |
| SDE200 殼體 | 0 - 60 SLM | |
| 主軸 | 7 - 10 SLM | |
| 排氣 | 7 - 10 SLM | |
| 連接 | 管道配件1/4" | |
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