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Diener 等離子表面處理儀 ATTO
  • Diener 等離子表面處理儀 ATTO
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2024-08-26 09:07:03

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Diener 等離子表面處理儀 ATTO特點
· 低壓等離子系統,用于不同材料表面的處理

· 配置自動/手動模式,實現控制高機能

· 10.5L腔體可處理多種樣品

· 適合于研究院、高校、研發中心使用

· 8" Wafer去膠清洗

Diener 等離子表面處理儀 ATTO

特點

· 低壓等離子系統,用于不同材料表面的處理

· 配置自動/手動模式,實現控制高機能

· 10.5L腔體可處理多種樣品

· 適合于研究院、高校、研發中心使用

· 8" Wafer去膠清洗

Diener 等離子表面處理儀 ATTO技術規格:

型號

ATTO

ATTO PCCE

控制系統

手動控制

PCCE 控制系統

工藝氣路

雙路氣體

工藝氣體

O2,Ar,N2,CO2,H2,Air

單體導入

H2O等單體(選配)

流量計

針閥流量計

MFC流量計

真空

腔體

材質

高硼硅玻璃腔體,蓋子門帶觀察窗(石英,鉸鏈門選配)

內尺寸(Dia.×D)

211×300mm

容積

10.5L

電極

360度外置環繞電極

發生器*


40KHz     0~200 W

13.56MHz  0~50 W

13.56MHz  0~300 W

真空壓力計

指針式壓力計(選購)

皮拉尼數字式壓力計

計時器

旋鈕式(選購)

數字式

托盤

高硼硅玻璃(石英選配)W200xD260xH5mm

外形尺寸(WXDxHmm

525x450xD450

電源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排氣速度8m3/H

上海爾迪儀器科技有限公司是一家代理經銷國內外儀器的專業公司。秉承“銷售*儀器、提供優質服務"的宗旨,在制藥、化工、環保、科研、大學、醫學等領域開拓了廣泛的市場,并贏得了廣大用戶的支持和信賴。爾迪在今后的發展中,將貫徹誠信、服務、務實、創新的經營理念,一如既往地把國內外優秀的儀器設備介紹并提供給國內的用戶。孜孜追求,不懈努力,不斷提高服務水平,為提升用戶的檢測水平和科研水平貢獻各自的綿薄之力,與廣大用戶共同享受科技成果,在互利協作中共同進步。


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