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Diener 等離子蝕刻機 FEMTO RIE
·適用6寸以下樣品的處理
·用于塑膠材料表面的處理
·配置自動/手動模式，實現控制高機能
·桌上型，省空間
·適合于研究院、高校、研發中心使用
·表面清洗活化
·表面蝕刻
型號 | FEMTO RIE(防腐)*1 | FEMTO RIE(防腐)*1 |
控制方式 | 按鍵操作控制 | Windows CE 7"觸摸屏操作控制 |
操作方式 | 手動 | 手動/自動 |
程序存儲 | — | 50組 |
工藝過程監控 | — | 二維折線圖與數字實時顯示 |
程序偏離值 | — | 抽真空時間、進氣量偏差值，實際功率輸出 |
報錯功能 | — | 顯示詳細的報錯信息 |
數據導入導出 | — | USB |
選程控制 | — | 選配 |
工藝氣路 | 單路，雙路，三路 | |
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2（CF4,SF6，NH3）*1 | |
流量計 | 針閥流量計（可選防腐針閥流量計）*1 | MFC流量計（可選防腐MFC流量計）*1 |
沖洗氣路 | 一路 | |
泄氣氣路 | 一路 | |
真空計 | 指針式/0-10mbar | 數字式/0-9.99mbar |
計時器 | 0~999.9H | |
真空腔體 | 不銹鋼圓形腔體 蓋子門帶觀察窗 尺寸Φ190mm x H60mm 容積1.7L | |
電極 | 不銹鋼氣浴RIE電極， Φ160mm | |
發生器 | 40 kHz 0-100W ,100 kHz 0-500W, 13.56 MHz 0-300W | |
外形尺寸（WxDxH） | 560 x 600 x 860mm | |
電源 | AC230 V / 16 A | |
真空泵 | 排氣速度不小于4m3/H, 極限真空度小于10Pa | |
選配功能 | 托盤冷卻,腔體溫度監控,冷水綱 | |
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