1.無油干式機械真空泵：是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
2.水環真空泵：水環真空泵內裝有帶固定葉片的偏心轉子，是將水（液體）拋向定子壁，水（液）成與定子同心的液環，液環與轉子葉片一起構成可變容積的一種旋轉變容積真空泵。
3.羅茨真空泵：是指泵內裝有相反方向同步旋轉的葉形轉子，轉子間、轉子與泵殼內壁間有細小間隙而互不接觸的一種變容真空泵。
4.真空度：處于真空狀態下的氣體稀薄程度，通常用真空度表述。從真空表所讀得的數值稱真空度。真空度數值是表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值，從表上表示出來的數值又稱為表壓強，業界也稱為極限相對壓強，即：真空度=大氣壓強-絕對壓強，絕對壓強=大氣壓強+表壓。
5.真空度單位
通常用托（Torr）為單位，國際上取用帕（Pa）作為單位。1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱。
Pa：帕斯卡是國際單位制中表示壓強的基本單位，簡稱帕。符號Pa。為紀念法國物理學家與數學家帕斯卡而命名。
6. 流量
單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q"表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7.流導
表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩定狀態下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U"。 U=Q/(P2- P1)
8.抽氣速率
在一定的壓強和溫度下，單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp=Q/（P－P0）
9. 真空計：是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業生產中廣泛使用。
10.標準大氣壓
壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。1大氣壓=760mmHg =101325Pa
11.飽和蒸汽壓力：在密閉條件中，在一定溫度下，與固體或液體處于相平衡的蒸汽所具有的壓力稱為飽和蒸汽壓力。
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