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光譜儀工作原理

閱讀:2184        發布時間:2014-5-5

光柵分為刻劃光柵、復制光柵、全息光柵等。刻劃光柵是用鉆石刻刀在涂有金屬的表面上機械刻劃而成;復制光柵是用母光柵復制而成。典型刻劃光柵和復制光柵的刻槽是三角形。全息光柵是由激光干涉條紋光刻而成。全息通常包括正弦刻槽。刻劃光柵具有衍射效率高的特點,全息光柵光譜范圍廣,雜散光低,且可作到高光譜分辨率。
光柵方程
  反射式衍射光柵是在襯底上周期地刻劃很多微細的刻槽,一系列平行刻槽的間隔與波長相當,光柵表面涂上一層高反射率金屬膜。光柵溝槽表面反射的輻射相互作用產生衍射和干涉。對某波長,在大多數方向消失,只在一定的有限方向出現,這些方向確定了衍射級次。如圖1所示,光柵刻槽垂直輻射入射平面,輻射與光柵法線入射角為α,衍射角為β,衍射級次為m,d為刻槽間距,在下述條件下得到干涉的極大值:
mλ=d(sinα+sinβ)
  定義φ為入射光線與衍射光線夾角的一半,即φ=(α-β)/2;θ為相對與零級光譜位置的光柵角,即θ=(α+β)/2,得到更方便的光柵方程:
  mλ=2dcosφsinθ
  從該光柵方程可看出:
  對一給定方向β,可以有幾個波長與級次m相對應λ滿足光柵方程。比如600nm的一級輻射和300nm的二級輻射、200nm的三級輻射有相同的衍射角。  衍射級次m可正可負。
  對相同級次的多波長在不同的β分布開。
  含多波長的輻射方向固定,旋轉光柵,改變α,則在α+β不變的方向得到不同的波長。
如何選擇光柵
選擇光柵主要考慮如下因素:
刻槽密度G=1/d,d是刻槽間隔,單位為mm。
閃耀波長
  閃耀波長為光柵zui大衍射效率點,因此選擇光柵時應盡量選擇閃耀波長在實際需要波長附近。如實際應用在可見光范圍,可選擇閃耀波長為500nm。
光柵刻線
  光柵刻線多少直接關系到光譜分辨率,刻線多光譜分辨率高,刻線少光譜覆蓋范圍寬,兩者要根據實驗靈活選擇。
光柵效率
  光柵效率是衍射到給定級次的單色光與入射單色光的比值。光柵效率愈高,信號損失愈小。為提高此效率,除提高光柵制作工藝外,還采用特殊鍍膜,提高反射效率。
光柵光譜儀重要參數:
分辨率(resolution)
  光柵光譜儀的分辨率R是分開兩條臨近譜線能力的度量,根據瑞利判據為:
  R==λ/Δλ
  光柵光譜儀有實際意義的定義是測量單個譜線的半高寬(FWHM)。實際上,分辨率依賴于光柵的分辨本領、系統的有效焦長、設定的狹縫寬度、系統的光學像差以及其它參數等。
  R∝M.F/W
M--光柵線數  F--譜儀焦距  W--狹縫寬度
色散
  光柵光譜儀的色散決定其分開波長的能力。光譜儀的倒線色散可計算得到:沿單色儀的焦平面改變距離χ引起波長λ的變化,即:
Δλ/Δχ=dcosβ/nF
  這里d、β、F分別是光柵刻槽的間距、衍射角和系統的有效焦距,n為衍射級次。由方程可見,倒線色散不是常數,它隨波長變化。在所用波長范圍內,改變化可能超過2倍。根據國家標準,在本樣本中,用1200l/mm光柵色散的中間值(典型的為435.8nm)時的倒線色散。帶寬
  帶寬是忽略光學像差、衍射、掃描方法、探測器像素寬度、狹縫高度和照明均勻性等,在給定波長,從光譜儀輸出的波長寬度。它是倒線色散和狹縫寬度的乘積。例如,單色儀狹縫為0.2mm,光柵倒線色散為2.7nm/mm,則帶寬為2.7*0.2=0.54nm。
波長精度、重復性和準確度
  波長精度是光譜儀確定波長的刻度等級,單位為nm。通常,波長精度隨波長變化,本樣本中為zui壞的情況。
  波長重復性是光譜儀設定一個波長后,改變設定,再返回原波長的能力。這體現了波長驅動機械和整個儀器的穩定性。卓立漢光的光譜儀的波長驅動和機械穩定性,其重復性超過了波長精度。
  波長準確度是光譜儀設定波長與實際波長的差別。每臺單色儀都要在很多波長檢查波長準確度。
  定義為光譜儀的直徑與焦距的比值。這是對光譜儀接收角的度量,這是調整單色儀與光源及探測器耦合的重要參數。當匹配時,可用上光譜儀的全部孔徑。但是大多數單色儀應用長方形光學部件。這里定義為光譜儀的等效直徑與焦距的比值,長方形光學件的等效直徑是具有相同面積的園的直徑


 

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