早期的工業超純水設備采用的是離子交換技術，主要應用于造紙工業、醫藥化工以及發電等領域，這些領域對于用水的要求不高，以前用的工業水處理設備會出現化學藥劑再生的情況，而且樹脂對于部分的有機分子其去除的效率差。
隨著工業發展的需求，眾多的工業對于用水的要求可謂是越來越高，這也促進了水處理技術的發展，下面講解關于工業用的超純水設備。
工業用的超純水設備根據用戶的用水水質要求可采用不同的水處理工藝(反滲透水處理、超濾、電滲析、微濾)等，必要時還需進行技術的相結合。
原水在進入設備之前會先進行一次水的預處理，主要目的是為了去除水中含有的大顆粒物質以及延長設備的使用壽命。
水的預處理：可采用石英砂過濾器、活性炭過濾器、澄清的方式去除水中含有的有機物以及懸浮物膠體來達到降低水中的SDI、COD、降低濁度等。
進水的原水可以是地下水、自來水、地表水，原水在進行預處理之后，再進到精密過濾器過濾，經過高壓泵加壓后就可以輸送至一級反滲透系統，以此類推，從一級反滲透系統出來到水在送至二級高壓泵加壓送至二級反滲透系統。
采用的水處理技術主要根據用戶對于用水的水質要求來確定。
超純水設備有時候為了保證出水的水質，可將EDI模塊代替混床深度脫鹽，這樣處理可以達到不會出現二次污染的情況。
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