工業超純水處理工藝，是目前工業用超純水的制備上應用最多的一種工藝之一，小型的去離子水設備常用的是超純水處理工藝，這也是目前工業純水設備常用的一種水處理工藝，其出水水質的電阻率達到1MΩ.cm以上，電導率可低于1uS/cm以下，不同的工業其對于純水的用水要求不一樣，下面介紹一下小型的去離子水設備。
根據用戶對于純水的水質電導率以及電阻率的要求不一樣，小型去離子水設備具體的水處理工藝可分為陽陰離子水處理、預處理(即砂碳過濾器+精密過濾器)+反滲透+混床工藝、兩級反滲透、預處理(即砂碳過濾器+精密過濾器)+反滲透。
陽陰離子交換樹脂：設備的產水穩定，造價方面相對也比較低;
預處理(即砂碳過濾器+精密過濾器)+反滲透+混床工藝：這種方法是目前工業采用的比較多的一種水處理技術，設備的投資成本不算高，反滲透水處理工藝可以去除90%以上的離子。
兩級反滲透：采用兩級RO反滲透工藝可以有效的去除水中含有的大分子物質、有機物、二氧化硅膠體、溶解鹽類以及預處理未去除的顆粒物等。
預處理(即砂碳過濾器+精密過濾器)+反滲透+EDI：采用混床的EDI連續除鹽膜塊，利用的是電再生，因此是不會有酸堿再生樹脂。
溫馨提示：兩級反滲透水處理工藝的純水可以滿足 EDI 裝置的進水要求。
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