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高精度三維測量機三豐Mitutoyo三坐標代理 LEGEX系列
擁有精度的高精度CNC三維測量機
LEGEX 系列是一款超高精度 CNC 三維測量機，擁有高級別的精度，分析并消除了誤差因素。
主機底座采用嚴選材料，采用密封結構，實現高剛性、高阻尼。此外，使用 FEM 結構分析模擬進行的應力分析，以保證幾何運動精度，最大限度地減少由于負載波動引起的變形。此外，我們還引入了多項技術來實現超高精度，例如驅動單元的結構和振動對策。
用于位置檢測的測量單元配備了超高精度測量單元（內部制造），它結合了熱膨脹系數≈0的超高精度晶化玻璃標尺和高性能反射線性傳感器高分辨率編碼器，具有高的位置檢測能力，可實現超精密的機器控制。
超高精度機器的安裝環境需要溫度控制室，但溫度校正功能使其可以在廣泛的溫度環境下保證精度。
為了支持對各種工件進行簡單且超精密的測量，我們準備了多種選件，包括探頭（接觸式和非接觸式）和數據處理器。
| 符號 | LEGEX574 | LEGEX774 | LEGEX776 | LEGEX9106 |
|---|---|---|---|---|
X 軸測量范圍 (mm) | 500 | 700 | 700 | 900 |
Y軸測量范圍（mm） | 700 | 700 | 700 | 1000 |
Z軸測量范圍（mm） | 450 | 450 | 600 | 600 |
驅動速度 CNC模式最大合成速度（AUTO）（mm/s） | 200 | 200 | 200 | 200 |
驅動加速度（最大合成加速度）(mm/s2) | 980 | 980 | 980 | 980 |
最小顯示量（mm） | 0.00001 | 0.00001 | 0.00001 | 0.00001 |
引導方式（各軸） | 空氣軸承 | 空氣軸承 | 空氣軸承 | 空氣軸承 |
計量單位 | 線性編碼器 | 線性編碼器 | 線性編碼器 | 線性編碼器 |
被測物最大高度（mm） | 700 | 700 | 850 | 850 |
機身工作氣壓（MPa） | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
本體耗氣量(L/min) | 120 L/min（160 L/min 以上作為氣源） | 120 L/min（160 L/min 以上作為氣源） | 120 L/min（160 L/min 以上作為氣源） | 120 L/min（160 L/min 以上作為氣源） |
測量臺材質 | 鑄鐵 | 鑄鐵 | 鑄鐵 | 鑄鐵 |
測量臺尺寸（安裝面）（mm） | 550×750 | 750×750 | 750×750 | 950×1050 |
測量對象最大負載質量（kg） | 250 | 500 | 500 | 800 |
其他的 | [身體精度]長度測量誤差（μm）：E0,MPE=0.28+L/1000~（使用MPP310Q時）L = 任意測量長度（單位：mm） | [身體精度]長度測量誤差（μm）：E0,MPE=0.28+L/1000~（使用MPP310Q時）L = 任意測量長度（單位：mm） | [身體精度]長度測量誤差（μm）：E0,MPE=0.28+L/1000~（使用MPP310Q時）L = 任意測量長度（單位：mm） | [身體精度]長度測量誤差（μm）：E0,MPE=0.28+L/1000~（使用MPP310Q時）L = 任意測量長度（單位：mm） |
高精度三維測量機三豐Mitutoyo三坐標代理 LEGEX系列
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