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產品簡介
EZ6高精密勻膠機在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。
詳細介紹
產品介紹：
名 稱：高精密勻膠機
型 號：EZ6
原產地：美國，USA
應 用：EZ6高精密勻膠機在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。
產品概述：
EZ6高精密勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業級直流馬達和PLC控制，5寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關領域。
EZ6高精密勻膠機設計標準為結構緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內進出，具有優異的性價比。亦可提供分體式設計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。
EZ6高精密勻膠機性能參數：
l 支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）
l 速度可調范圍：100-10000rpm
l 加速度可調范圍：100-30000rpm/s
l 轉速分辨率：1rpm
l 轉速精度：＜±5rpm
l 可編程10組10步程序
l 寬電壓輸入：AC100-230V
EZ6高精密勻膠機產品特點：
l 100W 直流無刷電機，PLC 控制
l 5”全彩觸摸屏
l 系統中英文可選
l 帶一只自動點膠端口，可升級自動點膠功能
l HDPE 內腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋
l 真空互鎖及蓋子開關互鎖安全功能
產品外型尺寸：
358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)