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真空環境大大降低了需要驅逐的液體的沸點，所以真空干燥可以輕松應用于熱敏性物質；
對于不容易干燥的樣品，例如粉末或其他顆粒狀樣品，使用真空干燥法可以有效縮短干燥時間；
各種構造復雜的機械部件或其他多孔樣品經過清洗后使用真空干燥法，*干燥后不留任何殘余物質；
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