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EX3自動橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏"）測量原理，針對納米薄膜厚度測量領域推出的一款自動測量型教學儀器。與EM22儀器相比，該儀器采用半導體激光器作為光源，穩定性好，體積小。
EX3儀器適用于納米薄膜的厚度測量，以及納米薄膜的厚度和折射率同時測量。
EX3儀器還可用于同時測量塊狀材料（如，金屬、半導體、介質）的折射率n和消光系數k。
產品分類品牌分類
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產品簡介
詳細介紹
EX3自動橢圓偏振測厚儀
特點:
消光法橢偏測量原理
儀器采用消光法橢偏測量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。
方便安全的樣品水平放置方式
采用水平放置樣品的方式，方便樣品的取放。
緊湊的結構
集成設計，簡潔的儀器外形通過USB接口與計算機相連，方便儀器使用。
高穩定性光源
采用半導體激光器作為探測光的光源，穩定性高，噪聲低。
豐富實用的樣品測量功能
可測量納米薄膜的膜厚和折射率、塊狀材料的復折射率等。
便捷的自動化操作
儀器軟件可自動完成樣品測量，并可進行方便的測量數據分析、儀器校準等操作。
安全的用戶使用權限管理
軟件中設置了用戶使用權限（包括：管理員、操作者等模式），便于儀器管理和使用。
可擴展的儀器功能
利用本儀器，可通過適當擴展，完成多項偏振測量實驗，如馬呂斯定律實驗、旋光測量實、旋光等。
EX3自動橢圓偏振測厚儀
應用領域:
EX3適合于教學中單層納米薄膜的薄膜厚度測量，也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數k。
EX3可測量的樣品涉及微電子、半導體、集成電路、顯示技術、太陽電池、光學薄膜、生命科學、化學、電化學、磁質存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領域。
EX3自動橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏"）測量原理，針對納米薄膜厚度測量領域推出的一款自動測量型教學儀器。與EM22儀器相比，該儀器采用半導體激光器作為光源，穩定性好，體積小。
EX3儀器適用于納米薄膜的厚度測量，以及納米薄膜的厚度和折射率同時測量。
EX3儀器還可用于同時測量塊狀材料（如，金屬、半導體、介質）的折射率n和消光系數k。