設(shè)備裝配過程（1）

這是我公司近期的一個(gè)定制項(xiàng)目，為客戶定做了一臺真空鍍膜機(jī)。本實(shí)驗(yàn)設(shè)備適用于鍍制各種多層光學(xué)薄膜和電學(xué)膜，是有關(guān)工廠、研究院和大專院校進(jìn)行生產(chǎn)和科研的理想設(shè)備。

設(shè)備裝配過程（2）

本設(shè)備采用箱式結(jié)構(gòu)，抽氣系統(tǒng)后臵，便于拆卸和維修。整機(jī)表面平整，便于清潔，適合凈化間安裝。蒸發(fā)室全部采用不銹鋼制造，外有可通冷、熱水的護(hù)罩，可對壁進(jìn)行加熱(熱水器選配)或冷卻。閥門采用氣動(dòng)，操作方便，使用可靠。液氮冷阱和水冷擋板設(shè)計(jì)為一整體。蒸發(fā)室抽氣口也設(shè)臵一光學(xué)密封機(jī)械擋板，因此可使蒸發(fā)室的油污染降低到極低的程度。本設(shè)備配備的抽氣元件抽速較大，因此具有抽氣時(shí)間短，工作真空度高，生產(chǎn)周期短等特點(diǎn)。

完工后的設(shè)備

主要技術(shù)參數(shù)

1）真空，極限真空：2×10-4Pa              2）恢復(fù)真空，從大氣→2×10-3Pa≤10min

3）蒸發(fā)室，腔體尺寸：500x500x700    4）工件夾具：外徑φ100mm

5）夾具轉(zhuǎn)速：N=9-300rpm                  6）電源：220v/50Hz

7）總功率：3kw                                8）溫濕度數(shù)據(jù)記錄頻率：1次/分（容量>6小時(shí)）

9）手動(dòng)排氣閥直徑：25mm                 10）頂部機(jī)械壓力表測量范圍：-0.1Mpa-0

11）平板電極材質(zhì)：紫銅（300x300x2）    12）膜厚測試儀測量范圍：20nm-1μm

13）起泡器溫控精度：±0.5℃                      14）起泡器外接接口尺寸：1/4寸

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