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VTC-200-CE半柜式清洗機采用直線導(dǎo)軌控制柱狀液流沿 wafer.半徑方向來回掃動,同時配備有去離子水淸洗和氮氣吹干功能,采用高精度伺服電機控制 wafer的旋轉(zhuǎn),由七寸全彩觸屏進行操作，全不銹鋼機柜,耐腐蝕透明觀察蓋,絲桿直線導(dǎo)軌,不銹鋼內(nèi)腔,設(shè)計合理,經(jīng)久耐用。伺服馬達控制旋轉(zhuǎn)速度和時間,自動控制顯影、清洗和吹干,顯影/清洗均勻性和重復(fù)性好。
1、不銹鋼半柜式設(shè)計，觸摸屏操作
2、透明觀察窗，帶排廢和抽風(fēng)功能
3、可移動式直線導(dǎo)軌清洗，行程可定制
4、最多可配備四路清洗或氮氣吹干系統(tǒng)
5、可處理最大基片尺寸為8寸晶圓，向下兼容
6、更大尺寸可定制
| 產(chǎn)品名稱 | VTC-200-CE半柜式清洗機 | |
| 產(chǎn)品型號 | VTC-200-CE | |
| 主要參數(shù) | 1、旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)范圍：20-10000rpm 2、加速度可調(diào)范圍：0-50000rpm/s 3、標配直線導(dǎo)軌行程：100mm；最大移動速度:100mm/s 4、標配兩路噴液系統(tǒng)，扇形或柱形噴嘴可選 5、標配10L不銹鋼壓力桶兩只，其它規(guī)格可選 6、清洗液或氮氣加溫系統(tǒng)可選配 | |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：940mm(長)×800mm(寬)×1100mm（高） | |
