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HORIBA SEC-N124MGM 氣體質量流量控制器
HORIBA提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的類型
產品簡介
詳細介紹
HORIBA SEC-N124MGM 氣體質量流量控制器
氣體質量流量控制器&氣體流量計
HORIBA提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取決于產品型號)。我們產品的流量范圍可覆蓋微量流量直至超大流量。
*1 Devicenet是一種通訊方式的標志。
*2 PROFIBUS是一種化的通訊方式標志。
特征
- 大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
- 多種通訊方式及電源供給
型號 | 選擇通訊方式 | 選擇供電方式 |
SEC-N102 系列 | 數字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協議 模擬式通訊 ?0～5VDC | HORIBA可提供PE系列供應電源 |
SEC-N104 系列 | DeviceNet™ 通訊 | 符合ODVA標準 |
SEC-N105 系列 | CC-Link®通訊 模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合 CC-Link®標準 24VDC(13 ~ 32VDC) |
| PROFIBUS™ 通訊方式 |
|
模擬式通訊 | ||
?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | ||
SEC-N107系列 | EtherCAT® 通訊方式 | 符合EtherCAT®標準 24VDC ± 4V |
- 高精度：±1.0% S.P. (*1)
- 1秒內快速響應 (*1)
- 多氣體，多量程解決方案
(*1)包括SEC-N17XR
多氣體，多量程的功能可使用軟件方便的更改MFC的氣體或滿量程流量。
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HORIBA SEC-N124MGM 氣體質量流量控制器