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HORIBA STEC SEC-N132JM質量流量控制器
適用于多種不同的產業應用。可實現大范圍控制從10SCCM至1000SLM。
產品簡介
詳細介紹
HORIBA STEC SEC-N132JM質量流量控制器
HORIBA STEC SEC-N132JM質量流量控制器
概要
適用于多種不同的產業應用。可實現大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。
特征
- 大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
- 多種通訊方式及電源供給
快速響應
在可控流量范圍內,響應時間≦1 sec
- 功能
PID 數據能夠根據客戶不同的流量設定進行調整
- 性能表現
更為穩定的輸出流量信號
即使在氣體種類和全量程更改后，仍能夠保證響應時間≦1 sec
內置PID參數，可以調整響應速度
產品規格
型號 | SEC-N11- | SEC-N12- | SEC-N13- | SEC-N14- |
全程流量范圍 | 10SCCM-10SLM | 11SLM-50SLM | 51SLM-100SLM | 101SLM-200SLM |
可控流量范圍 | 2~*全流量 | |||
精度 | ±1%設定流量（設定流量＞30%全流量） ±0.3%全流量（設定流量≤30%全流量） | |||
響應速度 | ≤1秒 | |||
氣路材質 | SUS 316L,PTFE,磁性不銹鋼 | SUS 316L | ||
密封圈材質 | 金屬/橡膠 | |||
閥門類型 | NC;常閉 | NC；常開 NO; 常開 | ||
適用的差壓范圍 | 50~300Kpa(d);~3slm 100~300Kpa(d);~10slm | 200~300KPa | 100~300KPa | 200~300KPa |
抗壓能力 | 100KPa（g） | |||
產品外漏水平 | ＜5X10-12Pa·m3/s（He）;金屬密封 ＜1X10-10Pa·m3/s（He）;橡膠密封 | |||
接口 | 1/4VCR 124mm | 1/2VCR 132mm | ||
數字式通訊協議 | RS-485 | |||